Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON Gemini MPG5xx

product-card
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON Gemini MPG5xx
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON Gemini MPG5xx
Описание
Характеристики

Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON Gemini MPG5xx — модель линейки MPG. В одном корпусе объединены теплопроводностный датчик Пирани и инверсно-магнетронный ионизационный датчик с холодным катодом.

Принцип работы

На начальной стадии откачки, когда давление еще сравнительно высокое, измерение выполняет датчик Пирани. Его сигнал основан на зависимости теплопроводности газа от давления. По мере углубления вакуума включается инверсно-магнетронный датчик, способный измерять значительно более низкое давление.

Автоматическое сочетание двух принципов обеспечивает непрерывную кривую измерения без необходимости устанавливать на камеру отдельный форвакуумный и высоковакуумный прибор.

Преимущества серии

  • широкий диапазон измерения одним датчиком;
  • контроль стадий предварительной и высоковакуумной откачки;
  • автоматический переход между измерительными элементами;
  • компактное размещение в одном корпусе;
  • уменьшение количества вакуумных портов и кабельных соединений;
  • удобство интеграции в систему управления;
  • возможность использовать показания для безопасного управления насосами и клапанами.

Практическое применение

Вакуумметр позволяет наблюдать весь цикл откачки: контролировать работу форвакуумного насоса, определять момент безопасного запуска высоковакуумной ступени, отслеживать достижение рабочего давления и фиксировать ухудшение вакуума.

Серия применяется в вакуумных камерах, аналитическом оборудовании, установках нанесения покрытий, исследовательских системах и другом оборудовании, где требуется измерять давление в нескольких вакуумных диапазонах одним прибором.

Производитель
INFICON
Серия
MPG
Страна
Швейцария
Степень защиты
IP40
Минимальная температура окружающей среды, °С
-40
Принцип измерения
Пирани и Ионизационный датчик с холодным катодом (по принципу инвертированного магнетрона)
Макс. напряжение питания (пост. ток), В
30
Диапазон измерений (воздух, N2), мбар (Торр)
1х10^-9 — 1000 мбар (7.6 × 10^-10 — 760 Торр)
Ориентация при монтаже
Любая
Допустимое давление (абс.), бар
10 (ограничение для инертных газов <55°C)
Рабочая температура (окр. среды), °C
+5 — +55
Макс. температура прогрева, °C
150
Макс. время отклика p>10^-6 мбар, мс
100
Время отклика p=10^-8 мбар, мс
1000
Идентификация датчика, кОм
85
Точность (N2)
100 — 1000 мбар % от показаний 50
Повторяемость (N2)
1х10^-2 — 100 мбар % от показаний 5
Температура катода, °C
120
Относительная влажность 30 дней в году
1х10^-8 — 1х10^-2 мбар % RH ≤70 (без конденсации)
Макс. напряжение питания пульсации (p-p), В
1
Макс. напряжение питания предохранителя, АТ
1
Выходное сопротивление, Ом
2х4.7
Импеданс нагрузки, кОм
≥10 (защита от короткого замыкания)
Кабель 50 м
≤50 (8x0.14 мм2)
Кабель 75 м
≤75 (8x0.25 мм2)
Кабель 100 м
≤100 (8x0.34 мм2)
Кабель 300 м
≤300 (8x1.00 мм2)
FCC соединительный кабель, м
≤50 (0.14 мм2/проводник)
Макс. напряжение поджига (в измерительной камере), кВ
4.5
Макс. рабочее напряжение (в измерительной камере), кВ
3.3
Максимальный ток (в измерительной камере), мкА
≤380
Минимальный ток (в измерительной камере), мКа
≤130
Внутренний объем, DN 25 ISO-KF, см³
≈19.9
Внутренний объем, DN 40 ISO-KF, см³
≈20.9
Внутренний объем, DN 40 CF-F, см³
≈25.2
Внутренний объем, DN 40 CF-R, см³
≈25.6
Максимальная масса DN 25 ISO-KF, г
280
Минимальная масса DN 40 ISO-KF, г
320
Максимальная масса DN 40 CF-F и CF-R, г
570
Скорость передачи (RS232C/485C), КБод
9.6 / 19.2 / 38.4 / 57.6
Адрес (RS232C/485C)
2 коммутатора (адрес 00-255)
Цифровые функции
Счетчики контролируют состояние датчика, возможность определения поведения в случае ошибки
Разъем для RS232 и RS485
D-sub HD, 15-пин, папа
Выходной аналоговый сигнал, В
0 — +10.5
Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
14.5
Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
30
Максимальная потребляемая мощность, Вт
2
Максимальная температура окружающей среды, °C
70

Товары из этой же серии

Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16
Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16
  • Масса, кг: 0.19
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTP4D
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP841
Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP841
  • Производитель: Thyracont
  • Серия: VSP841/2
  • Страна: Германия
В корзину
1
Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP842
Пассивный вакуумный датчик Пирани THYRACONT VSP842
  • Производитель: Thyracont
  • Серия: VSP841/2
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Вакуумный датчик Пирани с поверкой ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16
Вакуумный датчик Пирани с поверкой ERSTVAK MTP4D с фланцем KF16
  • Масса, кг: 0.19
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTP4D
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем CF16
Вакуумный датчик Пирани ERSTVAK MTP4D с фланцем CF16
  • Масса, кг: 0.19
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTP4D
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG502-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG502-S
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PSG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG512-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG512-S
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PSG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG554
Вакуумметр Пирани INFICON PSG554
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PSG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Вакуумметр Пирани INFICON PSG552
Вакуумметр Пирани INFICON PSG552
  • Производитель: INFICON
  • Серия: PSG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1

Не забудьте купить

Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 16 ISO-KF
Ионизационный вакуумметр Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON BAG302 DN 16 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: BAG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Тройник-переходник King Lai CF-RT-462x338
Тройник-переходник King Lai CF-RT-462x338
  • Производитель: King Lai
  • Серия: RT
  • Длина, мм: 89.7
  • Страна: Китай
В корзину
1
Прямоугольная вакуумная камера ERSTVAK RECT-150L
Прямоугольная вакуумная камера ERSTVAK RECT-150L
  • Масса, кг: 75
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: RECT
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1100x450x300
В корзину
1
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-960-2-С
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-960-2-С
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: СОУ
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1200 × 1000 × 800
В корзину
1
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL/3F RC 501 PIC с тройным масс-фильтром и детектором импульсного ионного подсчета
Квадрупольный масс-спектрометр HIDEN HAL/3F RC 501 PIC с тройным масс-фильтром и детектором импульсного ионного подсчета
  • Производитель: Hiden Analytical
  • Серия: HAL/3F
  • Страна: Великобритания
В корзину
1
Фланцевый переходник King Lai AD-BSP-DN40x125 с наружной резьбой
Фланцевый переходник King Lai AD-BSP-DN40x125 с наружной резьбой
  • Производитель: King Lai
  • Серия: BSP
  • Длина, мм: 30
  • Страна: Китай
В корзину
1
Фланец-заглушка с отверстиями под болты KING LAI ISOF-BL-80
Фланец-заглушка с отверстиями под болты KING LAI ISOF-BL-80
  • Производитель: King Lai
  • Серия: BL
  • Страна: Китай
  • Ширина, мм: 11.9
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-RAB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT220F-RAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 4.788
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Лабораторная лиофильная сушилка ERSTVAK EV-DF12A-S
Лабораторная лиофильная сушилка ERSTVAK EV-DF12A-S
  • Масса, кг: 65
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-DF
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 580 × 500 × 730
В корзину
1
Низкотемпературный лабораторный термостат ERSTVAK THERMIA-20/20E
Низкотемпературный лабораторный термостат ERSTVAK THERMIA-20/20E
  • Тип: Рециркуляционное охлаждение
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: THERMIA
  • Страна: Российская Федерация
  • Уровень шума, дБ: 65
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 450х550х1150
В корзину
1

Вы смотрели

Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 69
Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 69
  • Тип: Адсорбционные
  • Масса, кг: 340
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: SAHARA H
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1010 × 680 × 1924
В корзину
1
Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 26
Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 26
  • Тип: Адсорбционные
  • Масса, кг: 230
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: SAHARA H
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 910 × 550 × 1391
В корзину
1
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 750
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 750
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Маслосмазываемый
  • Скорость откачки, м³/ч: 750
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.3
  • Мощность, кВт: 11
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI CRVS 23TM ex. 06
Водокольцевой вакуумный насос ROBUSCHI CRVS 23TM ex. 06
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 525
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
  • Мощность, кВт: 15
  • Частота вращения, об/мин: 1450
В корзину
1
Фрезерный обрабатывающий центр с направляющими скольжения EMVB-1890
Фрезерный обрабатывающий центр с направляющими скольжения EMVB-1890
  • Серия: EMVB
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 5200 × 3350 × 3600
В корзину
1
Фрезерный обрабатывающий центр с направляющими скольжения EMVB-8050
Фрезерный обрабатывающий центр с направляющими скольжения EMVB-8050
  • Серия: EMVB
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2600 × 2850 × 2800
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRP-2-180
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRP-2-180
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 180
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
  • Мощность, кВт: 5.5
  • Частота вращения, об/мин: 1500
В корзину
1
Вакуумная печь для закалки в масле ERSTVAK VOQH-334
Вакуумная печь для закалки в масле ERSTVAK VOQH-334
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VOQ
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 950
Адсорбционный осушитель с горячей регенерацией ERSTVAK SAHARA H 950
  • Тип: Адсорбционные
  • Масса, кг: 3600
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: SAHARA H
  • Страна: Российская Федерация
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2150 × 1800 × 3034
В корзину
1
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRP-2-1200
Водокольцевой вакуумный насос ERSTVAK ELRP-2-1200
  • Тип: Водокольцевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Скорость откачки, м³/ч: 1252
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
  • Мощность, кВт: 37
  • Частота вращения, об/мин: 1000
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!