Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-400

Криогенный насос со встроенным контроллером ERSTVAK CryoVac EV-ICTP-400 — высокопроизводительная интегрированная система для чистой высоковакуумной откачки крупных технологических камер. Газ связывается на криогенно охлаждённых поверхностях за счёт конденсации и адсорбции, а встроенная электроника управляет охлаждением, рабочими режимами и регенерацией. Масло в рабочем вакуумном объёме не требуется.

Криогенные поверхности работают при температурах порядка 10–20 K. Остаточное давление достигает 10⁻⁷ Па. Встроенный контроллер управляет автоматическими рабочими циклами и регенерацией, контролирует вакуум внутри крионасоса и поддерживает дистанционный мониторинг и управление через интерфейс последовательной связи. Встроенный частотный преобразователь криокулера компенсирует изменение тепловой нагрузки на низкотемпературной ступени.

Управление и регенерация

По мере накопления газа доступная ёмкость криоповерхностей уменьшается, поэтому насос периодически регенерируют. EV-ICTP поддерживает полную и быструю частичную регенерацию: накопленные компоненты удаляются, после чего насос снова охлаждается и возвращается в рабочий режим. Несколько насосов серии могут работать от одного компрессора, что упрощает построение многокамерных и многопозиционных вакуумных систем.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 12000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 5000 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 17500 л/с;
• ёмкость по аргону — 4300 SL;
• ёмкость по водороду — 42 SL;
• полная регенерация — 180 минут;
• быстрая регенерация — 90 минут.

Применение

EV-ICTP-400 используют в крупных PVD-установках, полупроводниковом производстве, вакуумных испытательных камерах, научных и технологических высоковакуумных комплексах. При проектировании рабочего цикла учитывают различие характеристик по газам и доступную ёмкость до регенерации. Производительность модели делает её подходящей для крупных камер, где требуется сочетать чистую откачку и автоматизированное управление.