Главная
Каталог
Лабораторное и аналитическое оборудование
Зондовые станции
Лабораторная зондовая станция с расширенным функционалом SEMISHARE E12

Лабораторная зондовая станция с расширенным функционалом SEMISHARE E12

Производитель SEMISHARE
Серия E
Страна Китай
Диаметр пластины, мм 250
Размер стола держателя образца, мм 304.8
Тип держателя образца (опционально) Трехкоаксиальный на 3 кВ подогреваемый
Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях) Да, держатель образца электрически изолирован
Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм 250 × 250
Точность перемещения платформы держателя образца, мкм 10

В корзину

Описание

Характеристики

Дополнительные характеристики

Модель	E12
Масса, кг	210
Питание, В, Гц	220, 50-60
Крепление образца (при нормальных условиях)	Кольцевая вакуумная адсорбция (доступна опция пористой адсорбции)
Материал стола держателя образца	Нержавеющая сталь 316 / опционально: медь с никелевым или золотым покрытием
Ход точной позиционной регулировки платформы для перемещения держателя образца, мм	6
Точность позиционирования платформы для перемещения держателя образца, мкм	1
Функция быстрого подъема платформы для перемещения держателя образца	Не поддерживается
Управление платформой для перемещения держателя образца	Точная ручная регулировка
Крепление зондов	Магнитное или вакуумное
Управление перемещением координатного столика микроскопа (XY)	Регулировка коаксиальным маховиком
Точность тонкой настройки координатного столика микроскопа, мкм	выше 1
Ход микроскопа, мкм	1
Механическая точность зонда, мкм	10 /2 /0,7 (опционально)
Точность измерения тока утечки (Коаксиальный) при 25°C, (экранированная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), пА/В	1
Точность измерения тока утечки (Трехосный) при 25°C, (экранированная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), фА/В	100
Точность измерения тока утечки (Трехосный) при 3 кВ (25°C), (экранированнная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), пА	10
Интерфейсы	Разъемы типа банан/ крокодил /коаксиальный / трехосный интерфейс

Производитель: SEMISHARE

Серия: E

Страна: Китай

Диаметр пластины, мм: 250

Размер стола держателя образца, мм: 304.8

Тип держателя образца (опционально): Трехкоаксиальный на 3 кВ подогреваемый

Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях): Да, держатель образца электрически изолирован

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм: 250 × 250

Точность перемещения платформы держателя образца, мкм: 10

Минимальный шаг позиционирования, мкм: 1

Угол поворота платформы для держателя образца (грубая регулировка), ±град: 360

Диапазон точной настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, ±град: 8

Точность настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, град: 0.002

Быстрый ход подъема платформы для перемещения держателя образца, мм: 5

Длина платформы для крепления зондов, мм: 980

Ширина платформы для крепления зондов, мм: 480

Рабочее расстояние (от верхней поверхности держателя образца до нижней поверхности платформы), мм: 8

Максимальное количество устанавливаемых зондов: 10

Подъем платформы для крепления зондов: Не поддерживается

Микроскоп: Опционально: стереоскопический, видео микроскоп

Минимальное увеличение микроскопа, раз: 20

Максимальное увеличение микроскопа, раз: 2000

Камера микроскопа (опционально), Мп: 6.5 (цифр.)

Ход перемещения координатного столика микроскопа (XY), мм: 50.8

Ход зонда по осям X-Y-Z, мм: 12 × 12 × 12

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм: 3

Длина, мм: 1030

Высота, мм: 850

Ширина, мм: 800

Производитель SEMISHARE
Серия E
Страна Китай
Диаметр пластины, мм 250
Размер стола держателя образца, мм 304.8
Тип держателя образца (опционально) Трехкоаксиальный на 3 кВ подогреваемый
Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях) Да, держатель образца электрически изолирован
Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм 250 × 250
Точность перемещения платформы держателя образца, мкм 10