- Главная
- Каталог
- Лабораторное и аналитическое оборудование
- Зондовые станции
- Лабораторная зондовая станция с расширенным функционалом SEMISHARE E4
Лабораторная зондовая станция с расширенным функционалом SEMISHARE E4
Лабораторная зондовая станция с расширенным функционалом SEMISHARE
предназначена для проведения комплексных электрических измерений и исследований полупроводниковых пластин, кристаллов, микроэлектронных компонентов и новых материалов. Расширенный функционал оборудования позволяет выполнять широкий спектр испытаний, включая высокоточные параметрические измерения, температурные исследования, анализ характеристик устройств в различных режимах работы и интеграцию с дополнительными измерительными системами.Оборудование применяется в научно-исследовательских центрах, университетских лабораториях, конструкторских бюро и на предприятиях микроэлектронной промышленности. Станция используется для разработки и тестирования интегральных схем, силовых полупроводниковых приборов, MEMS-устройств, оптоэлектронных компонентов и перспективных материалов. Гибкость конфигурации, высокая точность позиционирования и возможность подключения специализированного оборудования позволяют адаптировать систему под широкий круг исследовательских и производственных задач.
- Тип
- Ручная
- Производитель
- SEMISHARE
- Серия
- E
- Страна
- Китай
- Длина, мм
- 680
- Высота, мм
- 760
- Ширина, мм
- 670
- Диаметр пластины, мм
- 100
- Размер стола держателя образца, мм
- 101.6
- Тип держателя образца (опционально)
- Трехкоаксиальный на 3 кВ подогреваемый
- Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях)
- Да, держатель образца электрически изолирован
- Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм
- 100 × 100
- Точность перемещения платформы держателя образца, мкм
- 10
- Минимальный шаг позиционирования, мкм
- 1
- Угол поворота платформы для держателя образца (грубая регулировка), ±град
- 360
- Диапазон точной настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, ±град
- 8
- Точность настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, град
- 0.002
- Быстрый ход подъема платформы для перемещения держателя образца, мм
- 5
- Длина платформы для крепления зондов, мм
- 550
- Ширина платформы для крепления зондов, мм
- 405
- Рабочее расстояние (от верхней поверхности держателя образца до нижней поверхности платформы), мм
- 8
- Максимальное количество устанавливаемых зондов
- 6
- Подъем платформы для крепления зондов
- Не поддерживается
- Микроскоп
- Опционально: металлографический GX-6, стереоскопический, видеомикроскоп
- Минимальное увеличение микроскопа, раз
- 20
- Максимальное увеличение микроскопа, раз
- 2000
- Камера микроскопа (опционально), Мп
- 6.5 (цифр.)
- Ход перемещения координатного столика микроскопа (XY), мм
- 50.8
- Ход зонда по осям X-Y-Z, мм
- 12 × 12 × 12
- Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм
- 3