Комбинированный вакуумметр THYRACONT VCL53D

product-card

Степень защиты IP54
Температура хранения -40 — +65
Время отклика, мс 40
Выходной сигнал 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 2.2 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка, кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)
Электрическое подключение SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией
Потребляемая мощность 2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД)
Материалы, контактирующие с вакуумом оксид кремния
Диапазон измерений Относительное: -1060 — +340 мбар (-795 — +255 Торр), зависит от давления окружающей среды

В корзину

Описание

Характеристики

Отзывы клиентов

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VCL53D — модель линейки VCL. Серия разработана для процессов, в которых камера многократно переходит от атмосферного давления к вакууму и обратно при загрузке и выгрузке изделий.

Принцип измерения

В одном корпусе объединены пьезорезистивный сенсор и датчик Пирани. Пьезорезистивный элемент измеряет абсолютное давление на верхнем участке диапазона, включая начальную стадию откачки. По мере снижения давления измерение продолжает теплопроводностный сенсор Пирани.

Комбинация двух методов позволяет контролировать значительную часть цикла откачки одним прибором. Оператор или система автоматики получает непрерывный сигнал при переходе от атмосферного давления к рабочему вакууму шлюзовой камеры.

Конструктивные особенности

В измерительной системе используется платино-родиевое исполнение чувствительного элемента. Серия рассчитана именно на задачи шлюзовых камер, для которых характерны частые циклы, быстрое изменение давления и необходимость своевременно управлять клапанами и насосами.

Преимущества серии

два измерительных принципа в одном корпусе;
контроль начальной и вакуумной стадии откачки;
специализация для шлюзовых и переходных камер;
пригодность для быстрых повторяющихся циклов;
сокращение количества отдельных датчиков и вакуумных присоединений;
возможность использования сигнала для управления насосами, клапанами и блокировками;
компактная интеграция в технологическое оборудование.

Области применения

Серия применяется в полупроводниковом оборудовании, установках вакуумного нанесения покрытий, тонкопленочных технологиях и других системах, где изделия перемещаются между атмосферой и вакуумной рабочей камерой через шлюз. Точное отслеживание цикла помогает сократить время загрузки, предотвратить преждевременное открытие клапанов и обеспечить воспроизводимость процесса.

Степень защиты: IP54

Температура хранения: -40 — +65

Время отклика, мс: 40

Выходной сигнал: 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 2.2 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка, кроме EtherCAT, Profinet

Принцип измерения: Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)

Электрическое подключение: SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией

Потребляемая мощность: 2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД)

Материалы, контактирующие с вакуумом: оксид кремния

Диапазон измерений: Относительное: -1060 — +340 мбар (-795 — +255 Торр), зависит от давления окружающей среды

Максимальное избыточное абсолютное давление, бар: 4

Точность измерения: Относительное: 0.25% от колебаний

Повторяемость: 10 — 1x10^-2 мбар: ±5% от показания

Максимальная температура прогрева на фланце (с отсоединенной электроникой), °C: 125

Интерфейс: RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet

Коммутационные выходы: 2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet

Вакуумное соединение: DN 16 ISO-KF

ЖК-дисплей: Нет

Масса, г: 195

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В: 20

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В: 30

Работа в агрессивной среде: Да

Настя Маслова

С эрствак сотрудничали по закупке вакуумметров для лабораторной установки. Заказ не крупный, но нам важно было попасть в диапазон измерений и получить документацию для внутренней проверки. Сначала прислали несколько вариантов, потом наш инженер уточнил по совместимости с действующей системой. Ответы были по делу, с техническими пояснениями. Приборы приехали в согласованной комплектации, подключение прошло штатно. Сейчас используем их в ежедневной работе, показания стабильные.

Евгения

Были закуплены вакуумметры MultiTorr. Удобный дисплей, нормальное сочетание цена/качество. Заказ был в январе, работают уже несколько месяцев, нареканий по качеству и оформлению заказа нет.

Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Иван Тихомиров

С Эрствак сотрудничаем с 2016 года. Это отличный проектировщик и поставщик оборудования. Предпочитаем покупать оборудование их собственной сборки, т.к. оно дешевле, чем импортные, а по качеству не особо им уступает. Так что не видим смысла переплачивать. Менеджерский состав компании подкован, всегда поможет подобрать нужное оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

К отзывам

К отзывам

К благодарственным письмам

Степень защиты IP54
Температура хранения -40 — +65
Время отклика, мс 40
Выходной сигнал 0–10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 2.2 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка, кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)
Электрическое подключение SubD 15-полюсн, вилка, с фиксацией
Потребляемая мощность 2.5 Вт (0.8 Вт доп., реле, ЖКД)
Материалы, контактирующие с вакуумом оксид кремния
Диапазон измерений Относительное: -1060 — +340 мбар (-795 — +255 Торр), зависит от давления окружающей среды