Вакуумный насос EBARA EV-M202N

Вакуумный насос EBARA EV-M202N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M, рассчитанный на высоконагруженную технологическую откачку. Модель обеспечивает скорость откачки 1200 м³/ч при предельном остаточном давлении 5 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 1,9 кВт. Вход DN100 и выход DN40 рассчитаны на высокий газовый поток через всасывающую линию крупного сечения.

Преимущества и особенности

Газ последовательно проходит через несколько сухих рабочих ступеней без использования масла или другой жидкости для герметизации зоны сжатия. Теплостойкая конструкция EV-M и управление температурой рассчитаны на процессы с интенсивным образованием реакционных побочных продуктов. Оптимизированные роторы и электропривод позволяют поддерживать высокий газовый поток при сравнительно небольшом энергопотреблении.

• Безмасляная рабочая камера снижает риск загрязнения вакуумного объема рабочей жидкостью.
• Высокотемпературный режим помогает сохранять летучесть процессных продуктов и уменьшать их осаждение внутри насоса.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в базовом исполнении серии для повышения стойкости газового тракта.
• Многоступенчатая конструкция обеспечивает последовательное сжатие газа до низкого остаточного давления.
• Водяное охлаждение контролирует тепловой режим узлов при продолжительной производственной нагрузке.
• Производительность не меняется при переходе между частотой сети 50 и 60 Гц.

Применение

EBARA EV-M202N используется в производстве полупроводников, дисплеев и солнечных элементов, а также в других высоконагруженных вакуумных процессах. Скорость откачки 1200 м³/ч позволяет обслуживать камеры со значительным поступлением газа, а остаточное давление 5 × 10⁻³ мбар обеспечивает рабочий диапазон для технологических операций, требующих глубокого форвакуума без масляного загрязнения.