Винтовой вакуумный насос EBARA EV-M20N

Винтовой вакуумный насос EBARA EV-M20N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M для высоконагруженных технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 110 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 1,2 кВт. Входной и выходной патрубки DN40 позволяют использовать насос в компактных локальных вакуумных системах.

Преимущества и особенности

В насосах EV-M газ проходит через несколько сухих рабочих ступеней без применения масла или другой жидкости для герметизации рабочей камеры. Теплостойкая конструкция и управление температурой предназначены для процессов, где вместе с газом образуются реакционные побочные продукты. Оптимизированная работа роторов и электропривода позволяет сочетать устойчивость к технологической нагрузке с низким потреблением энергии.

• Безмасляная рабочая камера исключает прямой контакт технологического газа с маслом в зоне откачки.
• Высокотемпературный режим снижает вероятность конденсации и накопления продуктов реакции внутри насосного тракта.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в стандартной конструкции серии для работы со сложными процессными газами.
• Многоступенчатая схема обеспечивает последовательное сжатие газа от атмосферного давления до рабочего вакуума.
• Водяное охлаждение стабилизирует тепловой режим при продолжительной эксплуатации.
• Одинаковая производительность при 50 и 60 Гц упрощает использование насоса в оборудовании для разных рынков.

Применение

EBARA EV-M20N используется в производстве полупроводников, дисплеев и фотоэлектрических элементов, а также в других процессах с повышенной тепловой и химической нагрузкой на вакуумный насос. Производительность 110 м³/ч ориентирована на компактные камеры и локальные участки, где требуется сухая откачка и устойчивость к реакционным продуктам без избыточной установленной мощности.