Вакуумный насос EBARA EV-M802N

Вакуумный насос EBARA EV-M802N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M для крупных высоконагруженных вакуумных систем. Модель обеспечивает скорость откачки 4800 м³/ч при предельном остаточном давлении 5 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 2,8 кВт. Вход DN200 и выход DN40 рассчитаны на высокий поток на стороне всасывания и компактное подключение нагнетательной линии.

Преимущества и особенности

Откачиваемый газ последовательно проходит через несколько сухих ступеней без контакта с маслом или жидкостью для герметизации. Серия EV-M использует теплостойкую конструкцию и высокотемпературный режим, предназначенные для процессов с большим количеством реакционных побочных продуктов. Сочетание роторов специальной геометрии и энергоэффективного привода позволяет поддерживать высокую производительность при сравнительно небольшом потреблении мощности.

• Безмасляная рабочая камера подходит для процессов, чувствительных к загрязнению вакуумного объема.
• Высокотемпературная работа уменьшает вероятность конденсации и осаждения процессных продуктов в насосном тракте.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в стандартной конструкции серии и повышают устойчивость к сложным технологическим газам.
• Многоступенчатая схема обеспечивает сочетание большой скорости откачки и низкого остаточного давления.
• Водяное охлаждение поддерживает контролируемую температуру узлов при продолжительной высокой нагрузке.
• Независимость насосной характеристики от частоты сети 50/60 Гц упрощает стандартизацию производственного оборудования.

Применение

EBARA EV-M802N используется на крупных участках производства полупроводников, жидкокристаллических панелей и солнечных элементов, а также в других высоконагруженных процессах. Скорость откачки 4800 м³/ч ориентирована на камеры с большим объемом и интенсивным поступлением газа, где требуется быстрое вакуумирование при сохранении сухого газового тракта и устойчивости к продуктам реакции.