Вакуумный насос EBARA EV-M302N

Вакуумный насос EBARA EV-M302N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M, предназначенный для высоконагруженных процессов с большим количеством реакционных побочных продуктов. Модель обеспечивает скорость откачки 1800 м³/ч при предельном остаточном давлении 5 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 2,3 кВт. Вход DN100 и выход DN40 рассчитаны на производительную откачку технологических камер при компактном нагнетательном подключении.

Преимущества и особенности

В серии EV-M газ последовательно проходит через несколько сухих рабочих ступеней, не контактируя с маслом или другой жидкостью для герметизации. Теплостойкая конструкция и управление температурным режимом рассчитаны на процессы, где внутри вакуумной линии образуются значительные объемы реакционных продуктов. Оптимизированная работа роторов и привода позволяет сочетать устойчивость к высокой нагрузке с низким энергопотреблением.

• Безмасляная рабочая камера снижает риск загрязнения технологической среды и вакуумного объема углеводородами.
• Высокотемпературный режим помогает уменьшить конденсацию и осаждение реакционных побочных продуктов внутри насосного тракта.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в стандартной конструкции серии для работы со сложными процессными газами.
• Многоступенчатая схема обеспечивает откачку от атмосферного давления до низкого остаточного давления в одном агрегате.
• Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока и поддерживает контролируемый температурный режим при длительной нагрузке.
• Характеристики откачки серии сохраняются при частоте сети 50 и 60 Гц, что упрощает применение оборудования на разных производственных площадках.

Применение

EBARA EV-M302N используется в полупроводниковом производстве, изготовлении жидкокристаллических панелей и солнечных элементов, а также в других высоконагруженных вакуумных процессах с интенсивным образованием реакционных продуктов. Скорость откачки 1800 м³/ч позволяет использовать модель в производительных технологических камерах, где одновременно требуются сухая откачка, низкое остаточное давление и устойчивость к процессной нагрузке.