Вакуумный насос EBARA EV-M102N

Вакуумный насос EBARA EV-M102N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M для высоконагруженных технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 600 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 1,8 кВт. Вход DN100 и выход DN40 позволяют включить насос в производственную вакуумную линию с увеличенным сечением на стороне всасывания.

Преимущества и особенности

Газ проходит через последовательность сухих рабочих ступеней без применения масла или жидкости для герметизации зоны откачки. Конструкция EV-M рассчитана на повышенную тепловую и процессную нагрузку: температурное управление поддерживает рабочий тракт в режиме, при котором уменьшается накопление конденсируемых продуктов реакции. Оптимизированная работа роторов и электропривода снижает потребление энергии при длительной эксплуатации.

• Безмасляная схема исключает прямой контакт технологического газа с маслом в рабочей камере.
• Высокотемпературная эксплуатация помогает контролировать отложения реакционных продуктов внутри насосного блока.
• Коррозионно-стойкие материалы входят в стандартную конструкцию серии, а для более агрессивных условий доступны усиленные варианты.
• Многоступенчатая компоновка позволяет последовательно снижать давление без отдельного маслосмазываемого форвакуумного насоса.
• Водяное охлаждение стабилизирует тепловой режим агрегата при продолжительной работе.
• Одинаковая производительность при 50 и 60 Гц упрощает унификацию насосов на площадках с разными стандартами электроснабжения.

Применение

EBARA EV-M102N используется в процессах производства полупроводников, дисплеев и фотоэлектрических элементов, а также в других технологических установках, где вакуумный насос сталкивается с повышенной газовой нагрузкой и реакционными побочными продуктами. Производительность 600 м³/ч делает модель подходящей для камер среднего объема, где требуется сухая откачка с умеренным энергопотреблением.