Вакуумный насос EBARA EV-M1205N

Вакуумный насос EBARA EV-M1205N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M для высоконагруженных процессов с большим объемом откачиваемого газа. Модель обеспечивает скорость откачки 6600 м³/ч при предельном остаточном давлении 5 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 5,3 кВт. Такое сочетание параметров рассчитано на крупные технологические камеры и линии с высокой газовой нагрузкой.

Преимущества и особенности

В насосах EV-M газ последовательно перемещается через несколько сухих рабочих ступеней. Масло или рабочая жидкость не используются для герметизации зоны сжатия, а теплостойкая конструкция позволяет поддерживать повышенную температуру газового тракта при работе с реакционными продуктами. Электропривод и геометрия роторов оптимизированы для сочетания высокой производительности и сниженного энергопотребления.

• Безмасляная рабочая камера подходит для технологических процессов, чувствительных к загрязнению маслом.
• Высокотемпературный режим уменьшает вероятность конденсации и накопления побочных продуктов внутри насосного тракта.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в стандартном исполнении серии и повышают устойчивость к сложным процессным газам.
• Многоступенчатая схема позволяет обеспечивать высокий газовый поток и низкое остаточное давление в одном агрегате.
• Водяное охлаждение отводит избыток тепла при длительной высокопроизводительной работе.
• Стабильные характеристики при 50 и 60 Гц упрощают интеграцию насоса в международное технологическое оборудование.

Применение

EBARA EV-M1205N используется в высоконагруженных процессах производства полупроводников, жидкокристаллических панелей и солнечных элементов. Скорость откачки 6600 м³/ч ориентирована на крупные камеры и участки с интенсивным поступлением технологических газов. Серия EV-M предназначена для процессов, где наряду с высокой производительностью важна устойчивость насосного тракта к тепловой нагрузке и реакционным побочным продуктам.