- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Винтовой вакуумный насос EBARA EV-M502N
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-M502N
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-M502N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M, предназначенный для высоконагруженной откачки с большим поступлением технологических газов и реакционных продуктов. Модель обеспечивает скорость откачки 3000 м³/ч при предельном остаточном давлении 5 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 2,1 кВт. Всасывающий патрубок DN160 и выход DN40 рассчитаны на высокий газовый поток.
Преимущества и особенности
Газ последовательно перемещается через несколько сухих рабочих ступеней, где сжатие выполняется без масла или рабочей жидкости в зоне откачки. Теплостойкая конструкция EV-M поддерживает работу при значительном количестве побочных продуктов процесса, а температурное управление помогает уменьшить их конденсацию внутри насосного тракта. Оптимизированная геометрия роторов рассчитана на высокий поток при умеренном энергопотреблении.
- Безмасляная рабочая камера снижает риск загрязнения технологического объема углеводородами.
- Высокотемпературный режим помогает сохранять реакционные продукты в газовой фазе и уменьшает образование отложений.
- Коррозионно-стойкие материалы входят в базовое исполнение серии для повышения стойкости к технологическим средам.
- Многоступенчатая конструкция обеспечивает глубокий форвакуум при высокой скорости откачки.
- Водяное охлаждение отводит тепло при длительной работе с высокой нагрузкой.
- Рабочая характеристика сохраняется при частоте сети 50 и 60 Гц.
Применение
EBARA EV-M502N используется в высоконагруженных процессах полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Производительность 3000 м³/ч позволяет обслуживать крупные технологические камеры и процессы с существенным газовым потоком. Серия EV-M рассчитана на условия, где помимо скорости откачки важны сухой газовый тракт, устойчивость к продуктам реакции и контролируемый тепловой режим.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Высокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 3000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт
- 2.1
- Входной патрубок
- ISO160
- Выходной патрубок
- ISO160
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 1068×485×945
- Масса, кг
- 500
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 5
- Температура охлаждающей воды
- +5 — +30
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: