Винтовой вакуумный насос EBARA EV-M502N

Винтовой вакуумный насос EBARA EV-M502N — сухой многоступенчатый насос серии EV-M, предназначенный для высоконагруженной откачки с большим поступлением технологических газов и реакционных продуктов. Модель обеспечивает скорость откачки 3000 м³/ч при предельном остаточном давлении 5 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 2,1 кВт. Всасывающий патрубок DN160 и выход DN40 рассчитаны на высокий газовый поток.

Преимущества и особенности

Газ последовательно перемещается через несколько сухих рабочих ступеней, где сжатие выполняется без масла или рабочей жидкости в зоне откачки. Теплостойкая конструкция EV-M поддерживает работу при значительном количестве побочных продуктов процесса, а температурное управление помогает уменьшить их конденсацию внутри насосного тракта. Оптимизированная геометрия роторов рассчитана на высокий поток при умеренном энергопотреблении.

• Безмасляная рабочая камера снижает риск загрязнения технологического объема углеводородами.
• Высокотемпературный режим помогает сохранять реакционные продукты в газовой фазе и уменьшает образование отложений.
• Коррозионно-стойкие материалы входят в базовое исполнение серии для повышения стойкости к технологическим средам.
• Многоступенчатая конструкция обеспечивает глубокий форвакуум при высокой скорости откачки.
• Водяное охлаждение отводит тепло при длительной работе с высокой нагрузкой.
• Рабочая характеристика сохраняется при частоте сети 50 и 60 Гц.

Применение

EBARA EV-M502N используется в высоконагруженных процессах полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Производительность 3000 м³/ч позволяет обслуживать крупные технологические камеры и процессы с существенным газовым потоком. Серия EV-M рассчитана на условия, где помимо скорости откачки важны сухой газовый тракт, устойчивость к продуктам реакции и контролируемый тепловой режим.