Комбинированный вакуумметр THYRACONT VCL53E

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VCL53E — модель линейки VCL. Серия разработана для процессов, в которых камера многократно переходит от атмосферного давления к вакууму и обратно при загрузке и выгрузке изделий.

Принцип измерения

В одном корпусе объединены пьезорезистивный сенсор и датчик Пирани. Пьезорезистивный элемент измеряет абсолютное давление на верхнем участке диапазона, включая начальную стадию откачки. По мере снижения давления измерение продолжает теплопроводностный сенсор Пирани.

Комбинация двух методов позволяет контролировать значительную часть цикла откачки одним прибором. Оператор или система автоматики получает непрерывный сигнал при переходе от атмосферного давления к рабочему вакууму шлюзовой камеры.

Конструктивные особенности

В измерительной системе используется платино-родиевое исполнение чувствительного элемента. Серия рассчитана именно на задачи шлюзовых камер, для которых характерны частые циклы, быстрое изменение давления и необходимость своевременно управлять клапанами и насосами.

Преимущества серии

• два измерительных принципа в одном корпусе;
• контроль начальной и вакуумной стадии откачки;
• специализация для шлюзовых и переходных камер;
• пригодность для быстрых повторяющихся циклов;
• сокращение количества отдельных датчиков и вакуумных присоединений;
• возможность использования сигнала для управления насосами, клапанами и блокировками;
• компактная интеграция в технологическое оборудование.

Области применения

Серия применяется в полупроводниковом оборудовании, установках вакуумного нанесения покрытий, тонкопленочных технологиях и других системах, где изделия перемещаются между атмосферой и вакуумной рабочей камерой через шлюз. Точное отслеживание цикла помогает сократить время загрузки, предотвратить преждевременное открытие клапанов и обеспечить воспроизводимость процесса.