- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Криогенные насосы
- Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-630
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-630
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-630 — высокопроизводительная модель серии CryoVac EV-CTP для чистой безмасляной откачки крупных высоковакуумных объёмов. Газ связывается на охлаждённых криоповерхностях за счёт конденсации и сорбции, без рабочего масла в вакуумной части.
Криокулер CryoVac EV-CTP работает при температуре порядка 10 K, а остаточное давление серии достигает 10−7 Па. Высокая газовая ёмкость не отменяет необходимости регенерации: накопленные компоненты периодически удаляют нагревом, после чего насос снова охлаждают до рабочего состояния.
Принцип работы и эксплуатация
В зависимости от природы газа меняются скорость откачки и количество вещества, которое насос способен удержать до регенерации. Поэтому EV-CTP-630 необходимо выбирать по газовому составу процесса, а не только по объёму камеры. Во время штатной работы форвакуумный насос не требуется.
Технические характеристики
- скорость откачки по водороду — 30000 л/с;
- скорость откачки по аргону — 14500 л/с;
- скорость откачки по водяному пару — 46000 л/с;
- ёмкость по аргону — 8200 SL;
- ёмкость по водороду — 120 SL;
- максимальная пропускная способность по аргону — 2000 Па·л/с.
Применение
EV-CTP-630 рассчитан на масштабные высоковакуумные установки с существенной газовой нагрузкой.
- крупные камеры вакуумного напыления.
- полупроводниковые и оптоэлектронные производства.
- космические имитаторы.
- вакуумные системы ускорителей.
- масштабные исследовательские стенды.
Скорости откачки, газовые ёмкости и максимальная пропускная способность относятся к EV-CTP-630. При подборе оборудования необходимо учитывать их совместно с газовым составом, режимом работы и заданным интервалом между регенерациями.
- Тип
- Криогенные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 64800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁹
- Входной патрубок
- ISO-K630
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 190
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6.5
- Время охлаждения, мин
- 150
- Температура охлаждающей воды
- +8 — +35
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: