9-12 ноября ЭРСТВАК примет участие в выставке "ХИМИЯ-2026"
product-card
Вакуумный насос EBARA ESR20N
Вакуумный насос EBARA ESR20N
Описание
Характеристики
Графики и чертежи
Проекты
Отзывы клиентов

Вакуумный насос EBARA ESR20N — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESR для чистых и средненагруженных технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 120 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,02 мбар (абс.) и мощности 0,7 кВт. Входной и выходной патрубки DN40 позволяют включать насос в компактные технологические вакуумные линии.

Преимущества и особенности

Серия ESR использует многоступенчатую сухую схему: газ последовательно перемещается через несколько рабочих ступеней без применения масла или жидкости для герметизации рабочей камеры. Оптимизированная геометрия роторов, электропривод и электронное управление обеспечивают снижение энергопотребления и возможность изменения режима работы в зависимости от нагрузки.

  • Безмасляная рабочая камера исключает прямой контакт технологического газа с маслом и снижает риск загрязнения вакуумной системы.
  • Многоступенчатая конструкция позволяет откачивать газ от атмосферного давления до низкого остаточного давления в одном агрегате.
  • Режим холостого хода позволяет уменьшать потребление ресурсов в периоды, когда полная производительность не требуется.
  • Регулируемая производительность дает возможность согласовывать работу насоса с фактической газовой нагрузкой процесса.
  • Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока и поддерживает стабильный температурный режим при длительной работе.
  • Для серии предусмотрены варианты с повышенной коррозионной стойкостью для более агрессивных технологических сред.

Применение

EBARA ESR20N используется в загрузочных шлюзах, электронно-микроскопических установках, процессах травления, CVD, PVD, озоления и ионной имплантации, а также в других чистых и средненагруженных вакуумных процессах. Невысокая потребляемая мощность в сочетании со скоростью откачки 120 м³/ч делает модель подходящей для локальных вакуумных систем, где требуется сухая откачка без избыточной установленной производительности.

Тип
Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума
Средний
Тип смазки
Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч
120
Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
0.02
Мощность, кВт
0.7
Входной патрубок
DN40
Выходной патрубок
DN40
Количество ступеней
Многоступенчатый
Охлаждение
Водяное
Масса, кг
90
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
695×280×370
Серия
ESR
Минимальная температура окружающей среды, °С
5
Расход рабочей жидкости, л/мин
2
Максимальная температура окружающей среды, °C
40

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

 

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Аватар пользователя
Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Аватар пользователя
Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Аватар пользователя
Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Аватар пользователя
Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

Товары из этой же серии

Вакуумный насос EBARA ESR30N
Вакуумный насос EBARA ESR30N
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 180
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.05
  • Мощность, кВт: 1.7
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR80WN
Вакуумный насос EBARA ESR80WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 510
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR200WN
Вакуумный насос EBARA ESR200WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
  • Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR100WN
Вакуумный насос EBARA ESR100WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 600
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR300WN
Вакуумный насос EBARA ESR300WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1800
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 2.9
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR500WN
Вакуумный насос EBARA ESR500WN
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 2800
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
  • Мощность, кВт: 3.1
В корзину
1
Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT
Вакуумный насос EBARA ESR201W-LT
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 1200
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
  • Мощность, кВт: 1.9
В корзину
1

Не забудьте купить

Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 8A60W
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 8A60W
  • Хладагент: R-404A/R508B (По запросу – смесь R125/R23/14)
  • Масса, кг: 2200
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2450*1700*2250
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: TSM
В корзину
1
Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 75-10
Винтовой безмасляный компрессор ERSTVAK DELIA 75-10
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 492
  • Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 55
  • Уровень шума, дБ(А): 78
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Моноблочный центробежный насос ERSTVAK LAGUNA MS 50-32-200/7.5T
Моноблочный центробежный насос ERSTVAK LAGUNA MS 50-32-200/7.5T
  • Мощность, кВт: 7.5
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA MS
  • Материал: Чугун
  • Присоединительный размер: DN50
В корзину
1
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-133DUTI
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-133DUTI
  • Производитель: Kurt J. Lesker
  • Страна: США
  • Серия: VPZL
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC100-65-315B-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC100-65-315B-112/4
  • Мощность, кВт: 7.5
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1345 × 540 × 683
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA EC
  • Максимальная производительность, м³/ч: 52.700000
В корзину
1
Портальный фрезерный обрабатывающий центр EMVG-2013
Портальный фрезерный обрабатывающий центр EMVG-2013
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 6400 × 3500 × 3700
  • Страна: Китай
  • Серия: EMVG
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC65-50-125A-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC65-50-125A-112/4
  • Мощность, кВт: 0.55
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 895 × 360 × 457
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA EC
  • Максимальная производительность, м³/ч: 13.600000
В корзину
1
Винтовая воздуходувка ERSTVAK SERRA 175-15
Винтовая воздуходувка ERSTVAK SERRA 175-15
  • Тип конструкции: На раме с муфтой
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 3414
  • Избыточное давление, мбар: 1500
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 132
В корзину
1
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 8A80W
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 8A80W
  • Хладагент: R-404A/R508B (По запросу – смесь R125/R23/14)
  • Масса, кг: 2850
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3000*1600*2250
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: TSM
В корзину
1
Пятиосевой горизонтальный обрабатывающий центр EMHF 1700
Пятиосевой горизонтальный обрабатывающий центр EMHF 1700
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 9600 × 8000 × 5300
  • Страна: Китай
  • Серия: EMHF
В корзину
1

Вы смотрели

Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 15 E
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 15 E
  • Производительность, н.м³/час: 15
  • Чистота азота, %: 99
  • Давление на выходе, бар: 8
  • Тип конструкции: Модульная
  • Тип: Адсорбционный
  • Масса, кг: 254
В корзину
1
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX75-C060
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX75-C060
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 3960
  • Избыточное давление, мбар: 900
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 55
В корзину
1
Пятиосевой горизонтальный обрабатывающий центр EMHF 1600
Пятиосевой горизонтальный обрабатывающий центр EMHF 1600
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 7000 × 6800 × 4000
  • Страна: Китай
  • Серия: EMHF
В корзину
1
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 2A95W
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 2A95W
  • Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
  • Масса, кг: 1250
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2000*1450*2050
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: TSM
В корзину
1
Предохранительный клапан для воздуходувки ERSTVAK RVM 30-60 4`
Предохранительный клапан для воздуходувки ERSTVAK RVM 30-60 4`
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: RVM
  • Избыточное давление, бар: 0.6
  • Тип присоединения: G
  • Размер присоединения: G 4"
В корзину
1
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 4A200W
Циркуляционный термостат ERSTVAK TSM 4A200W
  • Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
  • Масса, кг: 2250
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3000*1600*2250
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: TSM
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC150-125-315B-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC150-125-315B-112/4
  • Мощность, кВт: 18.5
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1540 × 660 × 825
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA EC
  • Максимальная производительность, м³/ч: 198
В корзину
1
Асинхронный электродвигатель АИР56A2 IM3081 0,18-3000
Асинхронный электродвигатель АИР56A2 IM3081 0,18-3000
  • Мощность, кВт: 0.18
  • Масса, кг: 5.7
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 216x120x140
  • Напряжение, В: 220∆/380Y
  • Страна: Китай
  • Серия: АИР
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC65-40-315-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC65-40-315-112/4
  • Мощность, кВт: 4
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1185 × 490 × 588
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA EC
  • Максимальная производительность, м³/ч: 15
В корзину
1
Медное уплотнение KING LAI CF-CS-1200-S (посеребрённое)
Медное уплотнение KING LAI CF-CS-1200-S (посеребрённое)
  • Производитель: King Lai
  • Страна: Китай
  • Серия: CS
  • Внешний диаметр, мм: 272.85
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!