- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Вакуумный насос EBARA ESR20N
Вакуумный насос EBARA ESR20N
Вакуумный насос EBARA ESR20N — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESR для чистых и средненагруженных технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 120 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,02 мбар (абс.) и мощности 0,7 кВт. Входной и выходной патрубки DN40 позволяют включать насос в компактные технологические вакуумные линии.
Преимущества и особенности
Серия ESR использует многоступенчатую сухую схему: газ последовательно перемещается через несколько рабочих ступеней без применения масла или жидкости для герметизации рабочей камеры. Оптимизированная геометрия роторов, электропривод и электронное управление обеспечивают снижение энергопотребления и возможность изменения режима работы в зависимости от нагрузки.
- Безмасляная рабочая камера исключает прямой контакт технологического газа с маслом и снижает риск загрязнения вакуумной системы.
- Многоступенчатая конструкция позволяет откачивать газ от атмосферного давления до низкого остаточного давления в одном агрегате.
- Режим холостого хода позволяет уменьшать потребление ресурсов в периоды, когда полная производительность не требуется.
- Регулируемая производительность дает возможность согласовывать работу насоса с фактической газовой нагрузкой процесса.
- Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока и поддерживает стабильный температурный режим при длительной работе.
- Для серии предусмотрены варианты с повышенной коррозионной стойкостью для более агрессивных технологических сред.
Применение
EBARA ESR20N используется в загрузочных шлюзах, электронно-микроскопических установках, процессах травления, CVD, PVD, озоления и ионной имплантации, а также в других чистых и средненагруженных вакуумных процессах. Невысокая потребляемая мощность в сочетании со скоростью откачки 120 м³/ч делает модель подходящей для локальных вакуумных систем, где требуется сухая откачка без избыточной установленной производительности.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 120
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.02
- Мощность, кВт
- 0.7
- Входной патрубок
- NW40
- Выходной патрубок
- NW40
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 695×280×370
- Масса, кг
- 90
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 2
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 40
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: