Вакуумный насос EBARA ESR30N

Вакуумный насос EBARA ESR30N — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESR для чистых и средненагруженных процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 180 м³/ч при предельном остаточном давлении 6,7 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 1,7 кВт. Такие параметры позволяют использовать насос как самостоятельный агрегат для технологических камер умеренного объема.

Преимущества и особенности

В насосах ESR газ проходит через последовательность сухих рабочих ступеней. Масло и рабочая жидкость не используются для герметизации камеры сжатия, поэтому откачиваемая среда не контактирует с ними. Геометрия роторов, электродвигатель и система управления оптимизированы для снижения потребления энергии и гибкой работы при переменной нагрузке.

• Безмасляная технология подходит для процессов, где важно исключить загрязнение вакуумного объема углеводородами.
• Многоступенчатая компоновка сочетает форвакуумную откачку и достижение низкого остаточного давления в одном корпусе.
• Режим холостого хода позволяет уменьшать потребление энергии и вспомогательных сред вне активной стадии процесса.
• Регулируемая скорость откачки помогает согласовать производительность насоса с реальной нагрузкой установки.
• Водяное охлаждение отводит тепло от рабочих ступеней и электропривода при длительной эксплуатации.
• Для серии доступны исполнения с повышенной коррозионной стойкостью, предназначенные для более сложных технологических газов.

Применение

EBARA ESR30N используется в загрузочных шлюзах, установках SEM, процессах травления, CVD, PVD, озоления и ионной имплантации. Скорость откачки 180 м³/ч и остаточное давление 6,7 × 10⁻³ мбар позволяют использовать модель в компактных и средних вакуумных камерах, где требуется сочетание чистой сухой откачки, низкого давления и умеренного энергопотребления.