Вакуумный насос EBARA ESR80WN

Вакуумный насос EBARA ESR80WN — сухой многоступенчатый вакуумный насос серии ESR, предназначенный для чистых и средненагруженных технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 510 м³/ч при предельном остаточном давлении 2 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 1 кВт. Всасывающий патрубок DN50 и нагнетательный DN40 рассчитаны на интеграцию агрегата в компактную производительную вакуумную систему.

Преимущества и особенности

Откачиваемый газ последовательно проходит через несколько сухих ступеней, где сжатие выполняется без масла или рабочей жидкости в насосной камере. Оптимизированная геометрия роторов и электронное управление позволяют сочетать производительность с низким потреблением энергии. При неполной загрузке насос может переводиться в менее энергозатратный режим.

• Безмасляная рабочая камера снижает риск загрязнения технологического объема и подходит для чувствительных производственных процессов.
• Многоступенчатая схема обеспечивает достижение низкого остаточного давления без отдельного масляного форвакуумного насоса.
• Режим холостого хода уменьшает потребление энергии и вспомогательных ресурсов при отсутствии полной технологической нагрузки.
• Управление производительностью позволяет согласовать скорость откачки с текущим состоянием вакуумной камеры.
• Водяное охлаждение стабилизирует температурный режим агрегата в продолжительных циклах.
• Доступные коррозионно-стойкие исполнения позволяют использовать серию не только в чистых, но и в более сложных процессах.

Применение

EBARA ESR80WN используется в загрузочных камерах, SEM, процессах PVD, CVD, травления, озоления и других операциях полупроводникового производства. Скорость откачки 510 м³/ч при остаточном давлении 2 × 10⁻³ мбар делает модель пригодной для систем, где требуется более высокий газовый поток, чем у младших моделей ESR, при сохранении сухой схемы и низкого энергопотребления.