Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR200

product-card

Тип Винтовые
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 210
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 5 × 10⁻³
Мощность, кВт 1.9
Входной патрубок ISO-K63
Выходной патрубок KF25
Количество ступеней 2

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Материалы

Проекты

Отзывы клиентов

Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR200 — модель серии EV-MR, предназначенной для полупроводникового производства. Линейка разработана для эксплуатации в жёстких технологических условиях и используется в вакуумных процессах травления.

EV-MR200 работает по сухому принципу: в рабочей части насоса не применяется вакуумное масло. Такая схема является базовым конструктивным признаком EV-MR и определяет устройство насосной части.

Конструкция и рабочие особенности

В основе EV-MR лежит новая интегрированная структура типа «Рутс». Для серии предусмотрен широкий диапазон регулирования подачи азота и температуры. Для EV-MR характерны высокая коррозионная стойкость и низкое энергопотребление.

Максимальная скорость откачки модели EV-MR200 составляет 210 м³/ч, предельный вакуум — 0,005 мбар.

Применение

EV-MR применяется в полупроводниковых операциях травления. Серия рассчитана на работу в технологическом оборудовании, где вакуумная откачка требуется на этапах обработки соответствующих материалов.

процесс травления оксида;
процесс травления кремния;
процесс травления металла.

Тип: Винтовые

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный

Скорость откачки, м³/ч: 210

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³

Мощность, кВт: 1.9

Входной патрубок: ISO-K63

Выходной патрубок: KF25

Количество ступеней: 2

Охлаждение: Водяное

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 695×290×434

Масса, кг: 140

Расход рабочей жидкости, л/мин: 1.9

Уровень шума, дБа: 63

Напряжение, В: 380

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

График скорости откачки

График показывает зависимость скорости откачки оборудования серии EV-MR от давления. По кривым можно сопоставить характеристики серии в показанном диапазоне давления.

grafik_skorosti_otkachki_ev_mr200_ev_mr600_ev_mr1200

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Сухие вакуумные насосы ERSTVAK: pdf /

Путеводитель по вакууму: pdf /

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1110

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1221

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

166

Игорь Орлов

Брaли через erstvak бустерный насос Рутса в пару к уже установленному вакуумному насосу. Задача была увеличить скорость откачки, но не развалить существующую схему по управлению и защите. Сначала скинули им параметры нашей установки, потом oтдельно обсуждали, что останется старое, а что лучше заменить сразу. В итоге поменяли еще часть арматуры и датчики, иначе смыслa было бы меньше. Запуск прошел спокойно, oткачка стала заметно быстрее, по аварийным остановам пока тишина.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: