- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Бустерные вакуумные насосы Рутса
- Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR1200
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR1200
Сухие вакуумные насосы ERSTVAK обладают рядом уникальных характеристик, которые делают их идеальными для использования в сложных промышленных процессах. Они широко применяются в химической промышленности для дистилляции и сублимации, в фармацевтике для лиофилизации и удаления растворителей, в полупроводниковой промышленности для создания чистых производственных условий, а также в научных исследованиях, различных аналитических установках, масс-спектрометрах, анализаторах поверхности и в других «чистых» вакуумных применениях.Серия сухих насосов EV-MR имеют новую интегрированную структуру «Рутс», которая обладает такими преимуществами, как широкий диапазон регулирования азота и температуры, высокая коррозионная стойкость и низкое энергопотребление. Серия EV-MR представлена как новейшая разработка для суровых условий работы в полупроводниковой промышленности.
Применения
- процесс травления оксида;
- процесс травления силикона;
- металлическое травление.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 1050
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт
- 3.8
- Входной патрубок
- ISO-K100
- Выходной патрубок
- KF25
- Количество ступеней
- 2
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 250
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EV-MR
- Страна
- Российская Федерация
- Длина, мм
- 695
- Высота, мм
- 706
- Ширина, мм
- 290
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 695×290×706
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 2.1
- Уровень шума, дБа
- 63
- Напряжение, В
- 380