Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR600

product-card

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 610
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.005
Мощность, кВт 3.8
Входной патрубок ISO100
Выходной патрубок KF25
Уровень шума, дБ(А) 63

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Материалы

Проекты

Отзывы клиентов

Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR600 — модель серии EV-MR, предназначенной для полупроводникового производства. Линейка разработана для эксплуатации в жёстких технологических условиях и используется в вакуумных процессах травления.

EV-MR600 работает по сухому принципу: в рабочей части насоса не применяется вакуумное масло. Такая схема является базовым конструктивным признаком EV-MR и определяет устройство насосной части.

Конструкция и рабочие особенности

В основе EV-MR лежит новая интегрированная структура типа «Рутс». Для серии предусмотрен широкий диапазон регулирования подачи азота и температуры. Для EV-MR характерны высокая коррозионная стойкость и низкое энергопотребление.

Максимальная скорость откачки модели EV-MR600 составляет 610 м³/ч, предельный вакуум — 0,005 мбар.

Применение

EV-MR применяется в полупроводниковых операциях травления. Серия рассчитана на работу в технологическом оборудовании, где вакуумная откачка требуется на этапах обработки соответствующих материалов.

процесс травления оксида;
процесс травления кремния;
процесс травления металла.

Тип: Многоступенчатые типа Рутс

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 610

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005

Мощность, кВт: 3.8

Входной патрубок: ISO100

Выходной патрубок: KF25

Уровень шума, дБ(А): 63

Количество ступеней: 2

Охлаждение: Водяное

Масса, кг: 250

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 695×290×706

Напряжение, В: 380

Серия: EV-MR

Расход рабочей жидкости, л/мин: 2.1

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

График скорости откачки

График показывает зависимость скорости откачки оборудования серии EV-MR от давления. По кривым можно сопоставить характеристики серии в показанном диапазоне давления.

grafik_skorosti_otkachki_ev_mr200_ev_mr600_ev_mr1200

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Сухие вакуумные насосы ERSTVAK: pdf /

Путеводитель по вакууму: pdf /

Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета

11.05.18

1 мин.

1215

Поставили химически стойкий безмаслянный насос NVS 120 в ФГУП ЦНИИХМ

14.05.18

2 мин.

1301

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

281

Игорь Орлов

Брaли через erstvak бустерный насос Рутса в пару к уже установленному вакуумному насосу. Задача была увеличить скорость откачки, но не развалить существующую схему по управлению и защите. Сначала скинули им параметры нашей установки, потом oтдельно обсуждали, что останется старое, а что лучше заменить сразу. В итоге поменяли еще часть арматуры и датчики, иначе смыслa было бы меньше. Запуск прошел спокойно, oткачка стала заметно быстрее, по аварийным остановам пока тишина.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

К отзывам

К отзывам

К благодарственным письмам

Тип Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 610
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 0.005
Мощность, кВт 3.8
Входной патрубок ISO100
Выходной патрубок KF25
Уровень шума, дБ(А) 63

В корзину

Товары из этой же серии

Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR200

Тип: Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч: 210
Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
Мощность, кВт: 1.9

В корзину

Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-MR1200

Тип: Многоступенчатые типа Рутс
Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч: 1050
Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
Мощность, кВт: 3.8

В корзину

Информация о бренде

ERSTVAK — ведущий российский производитель и поставщик высокотехнологичного промышленного оборудования. Эксперт в области вакуумного, термического, компрессорного и испытательного оборудования. Мы — лидеры по поставкам оборудования на рынке вакуумной, аналитической и термической техники в России.

Мы заключили более 100 договоров на сумму свыше 9 млн рублей в год каждый и ежегодно заключаем более 15 000 сделок. Наша миссия — развивать российскую промышленность и экономику, обеспечивая надёжным и современным оборудованием.

Помимо этого, наша конструкторская группа инженеров АСУ ТП имеет более 10 лет опыта решения неординарных задач. Группа оснащена необходимыми системами САПР, что позволяет реализовывать проекты любой сложности. Группой создано 1 050 + уникальных проектов. А под своим брендом мы создаём серийное оборудование ЭРСТВАК с уникальными техническими параметрами.

Все товары бренда ERSTVAK Бренд

Многоступенчатые насосы Рутса ERSTVAK Категория и бренд