Автоматическая зондовая станция SEMISHARE A8

Тип

Автоматическая

Производитель

SEMISHARE

Серия

A

Страна

Китай

Высота, мм

955

Ширина, мм

1124

Минимальная температура окружающей среды, °С

2

Максимальная рабочая температура, °C

300

Диаметр пластины, мм

150

Размер стола держателя образца, мм

152.4

Тип держателя образца (опционально)

Трехкоаксиальный

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм

260 × 450

Минимальный шаг позиционирования, мкм

0.5

Максимальная скорость перемещения держателя образца по XY, мм/с

250

Максимальная скорость держателя образца по XY (шарико-винтовая передача), мм/с

250

Максимальная скорость перемещения держателя образца по XY (линейный двигатель), мм/с

500

Максимальная скорость перемещения держателя образца по Z, мм/с

80

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм

1

Максимальный ход держателя образца по Z, мм

80

Угол поворота держателя образца ось θ (вращение), ±град

10

Разрешение держателя образца по оси θ (вращение), град

0.0001

Размер касеты автозагрузчика, мм

152.4

Размер пластины автозагрузчика, мм

203.2

Минимальная рабочая температура, °C

-60

Максимальная температура окружающей среды, °C

40

Глубина, мм

1158