- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000MO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000MO
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 6
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 15
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 5 — 100
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 250
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 138
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 15
- Уровень шума, дБ(А): 64
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Производитель: FirePower
- Серия: 1LT
- Страна: Китай
В корзину
1
- Масса, кг: 3.65
- Производитель: IPL
- Серия: PLUTONE BIO
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: RO
- Страна: Китай
- Ширина, мм: 5.33
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 6540
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 150
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 1254
- Избыточное давление, мбар: 250
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 11
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: CF-BL
- Страна: Китай
В корзину
1
- Масса, кг: 164
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ARCTICA LH
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 900 × 940 × 930
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: RVM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Hiden Analytical
- Серия: HAL/3F
- Страна: Великобритания
В корзину
1
- Тип: Автоматическая
- Производитель: SEMISHARE
- Серия: A
- Страна: Китай
- Высота, мм: 1400
- Ширина, мм: 1467
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 6
- Максимальный крутящий момент, Н·м: 1,49 (15,2 кг·см)
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: UBJ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 126
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VCR
- Страна: Германия
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 235
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 550*700*1750
В корзину
1
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 64.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 3 × 10⁻⁴
- Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
- Масса, кг: 393
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: E-VAK
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
