- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000MO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000MO
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Катод
- ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 6
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 15
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 5 — 100
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 250
Не забудьте купить
- Серия: ST
- Страна: США
- Фильтрующий картридж: Бумага
- Вход, дюйм: 4
- Выход, дюйм: 4
- Пропускная способность, м³/ч: 884
В корзину
1
- Серия: VHTBV
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумная печь ERSTVAK VHTBV-0808
- Производитель: ERSTVAK
- Мощность нагревателя, кВт: 180
- Размеры рабочей камеры, мм: Ø800 × 800
В корзину
1
- Режим работы: Непрерывный
- Серия: ERVAC-MD
- Страна: Российская Федерация
- Материал корпуса: PTFE
- Максимальное рабочее давление, бар: 1
- Производитель: ERSTVAK
В корзину
1
- Серия: 1LT
- Страна: Китай
- Производитель: FirePower
- Диаметр стола, мм: 500
- Скользящие кольца: 10 — 50
- Ось вращения: Вертикальная
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Режим работы: Универсальная
- Серия: EVL
- Мощность электродвигателя, кВт: 15
- Страна: Российская Федерация
- Разрежение, мбар: 350
В корзину
1
- Серия: 4C
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Фланцевое соединение: CF25
- Рабочая температура, °С: От -190 до +450
- Размер A, мм: 52
В корзину
1
- Серия: MV
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ШхДхВ), мм: 800 × 800 × 800
- Производитель: ERSTVAK
- Мощность, кВт: 1
- Масса, кг: 130
В корзину
1
- Серия: SWL
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Размер фланца: KF25
- Сторона А: 40
- Сторона B: 26.2
В корзину
1
- Серия: SM
- Страна: США
- Фильтрующий картридж: Полиэстер
- Выход, дюйм: 4
- Пропускная способность, м³/ч: 680
- Производитель: SOLBERG
В корзину
1
- Серия: SM
- Страна: США
- Фильтрующий картридж: Бумага
- Выход, дюйм: 4
- Пропускная способность, м³/ч: 425
- Производитель: SOLBERG
В корзину
1
Вы смотрели
- Серия: CIP
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Изостатический пресс ERSTVAK CIP-200/300
- Производитель: ERSTVAK
- Рабочая среда: Эмульсия
- Максимальное рабочее давление, МПа: 400
В корзину
1
- Серия: CIP
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Изостатический пресс ERSTVAK CIP-300/400
- Производитель: ERSTVAK
- Рабочая среда: Эмульсия
- Максимальное рабочее давление, МПа: 400
В корзину
1
- Тип: Ручная
- Серия: H
- Страна: Китай
- Производитель: SEMISHARE
- Ширина, мм: 759
- Диаметр пластины, мм: 150
В корзину
1
- Серия: CUBE
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумная камера ERSTVAK CUBE-30L
- Габаритные размеры, мм: 315x315x300
- Производитель: ERSTVAK
- Масса, кг: 26
В корзину
1
- Серия: RND
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумная камера ERSTVAK RND-9L
- Габаритные размеры, мм: 219x250
- Производитель: ERSTVAK
- Масса, кг: 12
В корзину
1
- Серия: EVD
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумный насос ERSTVAK EVD 350 R
- Артикул: EVD 350 R
- Габаритные размеры, мм: 1483х725х1146
- Производитель: ERSTVAK
В корзину
1
- Серия: CUBE
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумная камера ERSTVAK CUBE-50L
- Габаритные размеры, мм: 400x400x350
- Производитель: ERSTVAK
- Масса, кг: 40
В корзину
1
- Серия: RND
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумная камера ERSTVAK RND-30L
- Габаритные размеры, мм: 273x500
- Производитель: ERSTVAK
- Масса, кг: 23
В корзину
1
- Серия: RND
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумная камера ERSTVAK RND-70L
- Габаритные размеры, мм: 414x500
- Производитель: ERSTVAK
- Масса, кг: 60
В корзину
1
- Серия: RND
- Страна: Российская Федерация
- Краткое название: Вакуумная камера ERSTVAK RND-12L
- Габаритные размеры, мм: 219x300
- Производитель: ERSTVAK
- Масса, кг: 14
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
