- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000LO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000LO
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 6
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 10
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 5 — 100
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 300
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
Не забудьте купить
- Тип: Адсорбционные
- Масса, кг: 100
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EAD
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 700 × 450 × 1700
- Тип: Ручная
- Производитель: SEMISHARE
- Серия: H
- Длина, мм: 756
- Страна: Китай
- Высота, мм: 800
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.05
- Мощность, кВт: 0.55
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
- Производитель: King Lai
- Серия: ET
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Серия: CROSC
- Страна: Китай
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 85
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 4000*7000*13000
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1080
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 4
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 267
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 30
- Уровень шума, дБ(А): 67
- Количество ступеней: 1
- Производитель: King Lai
- Серия: SWG
- Страна: Китай
