- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000LO
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH3000LO
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 6
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 10
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 5 — 100
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 300
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: King Lai
- Серия: ET
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EDS
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: VPZL
- Страна: США
В корзину
1
- Мощность, кВт: 300
- Масса, кг: 885
- Производитель: Kewell
- Серия: D2000-EV
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 850 × 1000 × 1500
В корзину
1
- Масса, кг: 8000
- Производитель: CME
- Серия: KRD13
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2000 × 2000 × 1900
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EVCLIM-КТХВ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: KYKY
- Серия: CC
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: CME
- Серия: KRD60
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
- Уровень шума, дБ(А): 64
- Количество ступеней: 1
- Охлаждение: Воздушное
В корзину
1
- Мощность, кВт: 5.5
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA EC
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1095 × 450 × 555
В корзину
1
Вы смотрели
- Масса, кг: 480
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-DF
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1100 × 750 × 1400
В корзину
1
- Мощность, кВт: 450
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: ESST
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Мембранные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 3.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Мощность, кВт: 0.37
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VHDW
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 3012
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 355
- Уровень шума, дБ(А): 84
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Масса, кг: 105
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-DF
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 630 × 580 × 970
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 1.08
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Уровень шума, дБ(А): 44
- Охлаждение: _NULL_
- Масса, кг: 9.5
- Производитель: WELCH
В корзину
1
- Количество ступеней: 1
- Масса, кг: 18
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: CryoVac EV-GM70K
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 65
- Избыточное давление, мбар: 480
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.1
- Разрежение, мбар: 400
В корзину
1
- Тип: Мембранные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.5
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Мощность, кВт: 0.37
В корзину
1
