- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Бессеточные источники
- Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000
Бессеточный ионный источник Kaufman & Robinson eH1000
product-card
Источник Kaufman & Robinson серии eH предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления, модификации поверхности и научных исследований. Оборудование применяется в установках тонкопленочного осаждения, полупроводниковом производстве, оптической промышленности и других высокотехнологичных областях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу без использования традиционных сеточных элементов, что позволяет снизить вероятность загрязнения рабочей зоны и увеличить ресурс эксплуатации оборудования.
В зависимости от конфигурации источник может оснащаться катодом на основе нити накала или полым катодом, что позволяет адаптировать оборудование под особенности технологического процесса и требования к режимам работы.
Для повышения стабильности работы при интенсивных нагрузках предусмотрена возможность водяного охлаждения. Использование системы охлаждения позволяет эффективно отводить тепло и поддерживать стабильные параметры работы источника при длительной эксплуатации в составе вакуумных установок.
- Охлаждение
- Водяное (опция)
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- eH
- Страна
- США
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 0
- Катод
- НН-нить накала или ПК-полый катод
- Высота ионного источника, дюйм
- 4
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 5.7
- Угол расходимости пучка ИИ
- > 45°
- Ток в разрядной камере ионного источника, А
- 10
- Типичные значения потока, ст. см³/мин
- 2 — 50
- Мин. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 50
- Макс. напряжение в разрядной камере ионного источника, В
- 300
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное (опция)
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: eH
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: OXIA M
- Длина, мм: 400
- Страна: Российская Федерация
- Высота, мм: 1810
- Ширина, мм: 1550
В корзину
1
- Мощность, кВт: 5.5
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA MS
- Страна: Российская Федерация
- Обороты, об/мин: 2900
В корзину
1
- Мощность, кВт: 15
- Масса, кг: 91
- Серия: 1LE3
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 603х350х414
- Высота оси ротора, мм: 160
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: BW
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: BW
- Длина, мм: 152.4
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VGQ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Масса, кг: 36.9
- Производитель: SOLBERG
- Серия: CSL
- Страна: США
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 420
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2,7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 750
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
- Мощность, кВт: 22
- Частота вращения, об/мин: 980
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 200
- Мощность, кВт: 9
В корзину
1
- Мощность, кВт: 240
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: ESST
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VSH
- Страна: Германия
В корзину
1
- Количество ступеней: 2
- Масса, кг: 18
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: CryoVac EV-GM4K
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Мощность, кВт: 300
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: ESST
- Страна: Китай
В корзину
1
- Количество ступеней: 2
- Масса, кг: 22
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: CryoVac EV-GM4K
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SBF
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-DF
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1100 × 750 × 1400
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1260
- Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
- Мощность электродвигателя, кВт: 160
- Уровень шума, дБ(А): 76
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
