Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-HClaw6000

product-card

Тип Когтевые
Уровень вакуума Средний
Тип смазки Безмасляный
Скорость откачки, м³/ч 5500
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 5 × 10⁻³
Мощность, кВт 18.5
Входной патрубок ISO250
Выходной патрубок KF40
Количество ступеней 2

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Материалы

Проекты

Отзывы клиентов

ERSTVAK EV-HClaw6000 — сухой вакуумный насос когтевого типа серии EV-HClaw для технологических вакуумных установок. Когтевые роторы работают без контакта друг с другом в рабочей камере, поэтому газовый тракт не требует масла как рабочей среды.

Серия EV-HClaw рассчитана на процессы, в которых требуется управлять температурным режимом и подачей азота. Для герметизации используется комбинированная система, включающая механическое, двойное губчатое и азотное уплотнения. Вал насосного блока поддерживается с двух сторон, в опорах применяются керамические подшипники, а система охлаждения сочетает внутреннее самоохлаждение с водяным контуром.

Конструкция и рабочая среда

Газовый тракт отделён от смазываемых узлов, а подача N₂ используется как один из регулируемых параметров эксплуатации. Конструкция серии ориентирована на процессы, в которых возможны механические загрязнения и воздействие коррозионных факторов. Для электропривода применяются двигатели класса IE4. При интеграции насоса учитывают требования конкретного процесса к температурному режиму, продувочному газу и охлаждению.

Применение

EV-HClaw6000 предназначен для технологических процессов полупроводникового и вакуумного производства, связанных с химическим осаждением из газовой фазы и обработкой процессных газов.

химическое осаждение из плазмы высокой плотности HDP-CVD;
осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединений MOCVD;
плазмохимическое осаждение PECVD;
вакуумное химическое осаждение LPCVD;
атомно-слоевое осаждение ALD.

При подборе рабочего режима учитывают состав откачиваемой среды, требуемую подачу азота и условия охлаждения. Эти параметры задаются с учётом конкретной технологической установки и режима процесса.

Тип: Когтевые

Уровень вакуума: Средний

Тип смазки: Безмасляный

Скорость откачки, м³/ч: 5500

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³

Мощность, кВт: 18.5

Входной патрубок: ISO250

Выходной патрубок: KF40

Количество ступеней: 2

Охлаждение: Водяное

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1080×517×970

Масса, кг: 975

Расход рабочей жидкости, л/мин: 12

Уровень шума, дБа: 70

Напряжение, В: 380

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

График скорости откачки

График показывает зависимость скорости откачки оборудования серии EV-HClaw от давления. По кривым можно сопоставить характеристики серии в показанном диапазоне давления.

grafik_skorosti_otkachki_ev_hclaw1200_ev_hclaw1800_ev_hclaw3000_ev_hclaw5000_ev_hclaw6000

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Сухие вакуумные насосы ERSTVAK: pdf /

Путеводитель по вакууму: pdf /

Два вакуумных насоса + две вихревые воздуходувки + один компрессор = ERBOX

14.02.25

1 мин.

2610

Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение

28.05.26

1 мин.

165

Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»

10.06.25

1 мин.

935

Мирослав Володько

Работают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.

Алексей Круч

Для нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: