- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Когтевые вакуумные насосы
- Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-HClaw6000
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-HClaw6000
ERSTVAK EV-HClaw6000 — сухой вакуумный насос когтевого типа серии EV-HClaw для технологических вакуумных установок. Когтевые роторы работают без контакта друг с другом в рабочей камере, поэтому газовый тракт не требует масла как рабочей среды.
Серия EV-HClaw рассчитана на процессы, в которых требуется управлять температурным режимом и подачей азота. Для герметизации используется комбинированная система, включающая механическое, двойное губчатое и азотное уплотнения. Вал насосного блока поддерживается с двух сторон, в опорах применяются керамические подшипники, а система охлаждения сочетает внутреннее самоохлаждение с водяным контуром.
Конструкция и рабочая среда
Газовый тракт отделён от смазываемых узлов, а подача N2 используется как один из регулируемых параметров эксплуатации. Конструкция серии ориентирована на процессы, в которых возможны механические загрязнения и воздействие коррозионных факторов. Для электропривода применяются двигатели класса IE4. При интеграции насоса учитывают требования конкретного процесса к температурному режиму, продувочному газу и охлаждению.
Применение
EV-HClaw6000 предназначен для технологических процессов полупроводникового и вакуумного производства, связанных с химическим осаждением из газовой фазы и обработкой процессных газов.
- химическое осаждение из плазмы высокой плотности HDP-CVD;
- осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединений MOCVD;
- плазмохимическое осаждение PECVD;
- вакуумное химическое осаждение LPCVD;
- атомно-слоевое осаждение ALD.
При подборе рабочего режима учитывают состав откачиваемой среды, требуемую подачу азота и условия охлаждения. Эти параметры задаются с учётом конкретной технологической установки и режима процесса.
- Тип
- Когтевые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч
- 5500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.005
- Мощность, кВт
- 18.5
- Входной патрубок
- ISO250
- Выходной патрубок
- KF40
- Уровень шума, дБ(А)
- 70
- Количество ступеней
- 2
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 975
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 1080×517×970
- Напряжение, В
- 380
- Серия
- EV-HClaw
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 12
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
График скорости откачки
График показывает зависимость скорости откачки оборудования серии EV-HClaw от давления. По кривым можно сопоставить характеристики серии в показанном диапазоне давления.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:
Товары из этой же серии
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 220
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 7.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 510
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 11
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 680
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1250
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1850
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 3300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 4480
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 18.5
Информация о бренде
ERSTVAK — ведущий российский производитель и поставщик высокотехнологичного промышленного оборудования. Эксперт в области вакуумного, термического, компрессорного и испытательного оборудования. Мы — лидеры по поставкам оборудования на рынке вакуумной, аналитической и термической техники в России.
Мы заключили более 100 договоров на сумму свыше 9 млн рублей в год каждый и ежегодно заключаем более 15 000 сделок. Наша миссия — развивать российскую промышленность и экономику, обеспечивая надёжным и современным оборудованием.
Помимо этого, наша конструкторская группа инженеров АСУ ТП имеет более 10 лет опыта решения неординарных задач. Группа оснащена необходимыми системами САПР, что позволяет реализовывать проекты любой сложности. Группой создано 1 050 + уникальных проектов. А под своим брендом мы создаём серийное оборудование ЭРСТВАК с уникальными техническими параметрами.
Не забудьте купить
- Мощность электродвигателя, кВт: 4
- Масса, кг: 400
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: CPBM
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: CRO
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: VP-KD
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 4800 × 3200 × 3400
- Страна: Китай
- Серия: EMVB
- Мощность, кВт: 1.5
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1080 × 450 × 530
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: LAGUNA EC
- Максимальная производительность, м³/ч: 14
- Тип: Рефрижераторные
- Мощность, кВт: 1
- Масса, кг: 60
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 600 × 500 × 920
- Напряжение, В: 220
- Производитель: ERSTVAK
- Тип конструкции: Моноблочная
- Тип: Высоконапорные вентиляторы
- Производительность, м³/ч: 1200
- Избыточное давление, мбар: 17
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 0.75
- Максимальная температура, °C: 1350
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: VGQ
- Краткое название: Вакуумная печь ERSTVAK VGQH-334
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 122.4
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 22
- Уровень шума, дБ(А): 64
- Количество ступеней: 1
- Производитель: CME
- Страна: Китай
- Серия: KRD60
Вы смотрели
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Страна: США
- Серия: CFT-V
- Тип: Мембранные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 2.3
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 75
- Мощность, кВт: 0.18
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 100800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Охлаждение: Водяное
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 9000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0005
- Мощность, кВт: 22
- Тип: Поршневые
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 0.55
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 292
- Мощность, кВт: 0.025
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 558
- Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
- Мощность электродвигателя, кВт: 75
- Уровень шума, дБ(А): 78
- Количество ступеней: 1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Страна: США
- Серия: CFT-V
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Страна: США
- Серия: CFT-C
- Тип: Многоступенчатые типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 15
- Производительность, н.м³/час: 20
- Концентрация кислорода, %: 93
- Давление на выходе, бар: 3
- Тип конструкции: Две колонны
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 1870
