Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-800

Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-800 рассчитан на безмасляную откачку крупных высоковакуумных систем с очень высокой газовой нагрузкой. Откачиваемые компоненты связываются на криогенно охлаждённых поверхностях: водяной пар и другие конденсируемые газы осаждаются на холодных панелях, а лёгкие газы удерживаются сорбционным материалом. Такой принцип позволяет формировать чистый вакуум без масла в рабочем объёме.

Криокулер работает при температуре порядка 10 K, а предельное остаточное давление линейки достигает 10⁻⁷ Па. Газ не выводится из насоса непрерывно, а накапливается на внутренних поверхностях. По мере заполнения доступной ёмкости насос регенерируют: криопанели нагревают, накопленные компоненты удаляют и затем снова охлаждают до рабочего состояния.

Принцип работы и эксплуатация

Криогенная откачка даёт разные рабочие характеристики по водороду, аргону и водяному пару. Поэтому при проектировании системы учитывают скорость по каждому газу, газовую ёмкость и фактический состав среды. Эти параметры определяют не только время достижения требуемого давления, но и продолжительность рабочего периода до очередной регенерации. В штатном режиме отдельный форвакуумный насос не требуется.

Технические характеристики

• скорость откачки по водороду — 46000 л/с;
• скорость откачки по аргону — 23500 л/с;
• скорость откачки по водяному пару — 71000 л/с;
• ёмкость по аргону — 8500 SL;
• ёмкость по водороду — 150 SL;
• максимальная пропускная способность по аргону — 2000 Па·л/с.

Применение

EV-CTP-800 подходит для крупных PVD- и напылительных комплексов, полупроводниковых производств, вакуумных испытательных камер, имитаторов космоса и производительных научных установок. Модель особенно уместна в системах, где одновременно требуются очень высокая скорость откачки, большая газовая ёмкость и отсутствие масляного загрязнения вакуумного объёма.