- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Когтевые вакуумные насосы
- Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-HClaw600
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-HClaw600
ERSTVAK EV-HClaw600 — сухой вакуумный насос когтевого типа для процессов со средней и высокой нагрузкой. Когтевые роторы работают без контакта друг с другом в рабочей камере, поэтому для уплотнения газового тракта не требуется рабочее масло. Максимальная скорость откачки модели составляет 680 м³/ч, предельный вакуум — 5 × 10−3 мбар.
Серия EV-HClaw рассчитана на процессы, в которых важны настройка температурного режима и подача азота. Для герметизации применена комбинированная система с механическим, двойным губчатым и азотным уплотнениями. Вал поддерживается с двух сторон, а в опорах используются керамические подшипники. Система охлаждения сочетает внутреннее самоохлаждение с водяным контуром.
Конструкция и рабочая среда
Газовый тракт отделён от смазываемых узлов, а азотное уплотнение входит в систему герметизации насоса. Подача N2 используется как один из регулируемых параметров эксплуатации. Конструкция серии ориентирована на работу при наличии механических загрязнений и коррозионных факторов. Для электропривода применяются двигатели класса IE4, а охлаждение двигателя и насосного блока организовано комбинированной системой.
Применение
EV-HClaw600 предназначен прежде всего для технологических процессов полупроводникового и вакуумного производства с заметной газовой и продуктовой нагрузкой.
- химическое осаждение из плазмы высокой плотности HDP-CVD;
- MOCVD и PECVD;
- вакуумное химическое осаждение LPCVD;
- атомно-слоевое осаждение ALD.
При подборе режима учитывают требуемую скорость откачки, состав откачиваемой среды, подачу продувочного азота и расход охлаждающей жидкости. Эти параметры задают условия интеграции насоса в конкретную технологическую установку.
- Тип
- Когтевые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч
- 680
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.005
- Мощность, кВт
- 12
- Входной патрубок
- ISO-K100
- Выходной патрубок
- KF40
- Уровень шума, дБ(А)
- 70
- Количество ступеней
- 2
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 411
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 901×396×787
- Напряжение, В
- 380
- Серия
- EV-HClaw
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 3
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:
Товары из этой же серии
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 220
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 7.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 510
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 11
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1250
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1850
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 3300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 4480
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 5500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 18.5
Информация о бренде
ERSTVAK — ведущий российский производитель и поставщик высокотехнологичного промышленного оборудования. Эксперт в области вакуумного, термического, компрессорного и испытательного оборудования. Мы — лидеры по поставкам оборудования на рынке вакуумной, аналитической и термической техники в России.
Мы заключили более 100 договоров на сумму свыше 9 млн рублей в год каждый и ежегодно заключаем более 15 000 сделок. Наша миссия — развивать российскую промышленность и экономику, обеспечивая надёжным и современным оборудованием.
Помимо этого, наша конструкторская группа инженеров АСУ ТП имеет более 10 лет опыта решения неординарных задач. Группа оснащена необходимыми системами САПР, что позволяет реализовывать проекты любой сложности. Группой создано 1 050 + уникальных проектов. А под своим брендом мы создаём серийное оборудование ЭРСТВАК с уникальными техническими параметрами.
Не забудьте купить
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 250
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 200
- Мощность, кВт: 5.5
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: VP
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: HN
- Длина, мм: 100
- Внешний диаметр, мм: 370
- Масса, кг: 12
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: RND
- Краткое название: Вакуумная камера ERSTVAK RND-9L
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: CRN
- Масса, кг: 0.9
- Производитель: SOLBERG
- Страна: США
- Серия: SM
- Тип конструкции: На раме с муфтой
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1192
- Избыточное давление, мбар: 600
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 22
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3200 × 3000 × 2420
- Страна: Китай
- Серия: EMVT
- Максимальная температура, °C: 1550
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: VCS
- Краткое название: Вакуумная печь ERSTVAK VCS-3312
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: LFC
Вы смотрели
- Производительность, н.м³/час: 400
- Чистота азота, %: 99.99
- Давление на выходе, бар: 8
- Тип конструкции: Две колонны
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 7250
- Производительность, н.м³/час: 4
- Чистота азота, %: 99.999
- Давление на выходе, бар: 8
- Тип конструкции: Модульная
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 254
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Страна: США
- Серия: KDC
- Производительность, н.м³/час: 180
- Концентрация кислорода, %: 93
- Давление на выходе, бар: 3
- Тип конструкции: Две колонны
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 6300
- Производитель: Thyracont
- Страна: Германия
- Серия: VSM
- Тип: Пластинчато-роторные
- Производительность, м³/ч: 160.2
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Частота вращения, об/мин: 1450
- Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
- Уровень шума, дБ(А): 80
- Производительность, н.м³/час: 15
- Чистота азота, %: 99.999
- Давление на выходе, бар: 8
- Тип конструкции: Две колонны
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 1100
- Тип конструкции: Моноблочная
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 1370
- Избыточное давление, мбар: 110
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 8.5
- Производительность, н.м³/час: 60
- Концентрация кислорода, %: 93
- Давление на выходе, бар: 3
- Тип конструкции: Две колонны
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 2910
- Производительность, н.м³/час: 50
- Чистота азота, %: 99.999
- Давление на выходе, бар: 8
- Тип конструкции: Две колонны
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 2200
