- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Сеточные ионные источники
- Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC40
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC40
product-card
Сеточный ионный источник предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления и модификации поверхности материалов. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности и научных исследованиях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу и точное управление параметрами ионного пучка. Использование сеточной системы позволяет формировать направленный поток ионов с высокой повторяемостью технологического процесса.
Оборудование подходит для работы в составе вакуумных установок напыления, плазменной обработки и исследовательских комплексов.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- KDC
- Страна
- США
- Рабочие газы
- Смеси
- Тип установки
- Вынесенный или на фланец
- Высота ионного источника, дюйм
- 6.75
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 3.5
- Типовые процессы
- IBSD
- Контроллер питания
- KSC 1212
- Метод генерации ионов
- Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
- Типовой размер пучка у сетки, см
- 4
- Формы пучка
- Расфокусированный
- Обрабатываемые материалы
- Полупроводники
- Типовая установка
- 6 — 18"
- Число нитевых катодов, шт
- 2
- Ионная оптика
- Опционально – коллимированная, фокусированная, дефокусированная
- Сетки ионной оптики
- Специализированы под приложения
- Центровка ионной оптики
- Самовыравнивание
- Типовой размер пучка у сетки ионной оптики, см
- 16
- Нейтрализатор
- Опционально – Sidewinder или LFN 2000
- Опции контроллера
- 4 программы-рецепта
- Максимальное напряжение на аноде (DC), В
- 100
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 6311.5
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 160
- Уровень шума, дБ(А): 85
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: CFT-V
- Страна: США
В корзину
1
- Масса, кг: 13.05
- Производитель: SOLBERG
- Серия: ST
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 700 × 500 × 500
В корзину
1
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 275.4
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 49.5
- Уровень шума, дБ(А): 68
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 120
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 22
- Уровень шума, дБ(А): 68
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 600 × 500 × 450
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: AGVP-UHV
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность, кВт: 4
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA M
- Страна: Российская Федерация
- Обороты, об/мин: 2900
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: AGP
- Длина, мм: 1131
- Страна: Китай
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 420
- Избыточное давление, мбар: 100
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.6
- Разрежение, мбар: 100
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 150
- Избыточное давление, мбар: 280
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.5
- Разрежение, мбар: 310
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 45
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 62
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 45
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 62
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 33
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 4
- Уровень шума, дБ(А): 62
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 216
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 22
- Уровень шума, дБ(А): 62
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LP
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
