- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Сеточные ионные источники
- Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC40
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC40
product-card
Сеточный ионный источник предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления и модификации поверхности материалов. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности и научных исследованиях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу и точное управление параметрами ионного пучка. Использование сеточной системы позволяет формировать направленный поток ионов с высокой повторяемостью технологического процесса.
Оборудование подходит для работы в составе вакуумных установок напыления, плазменной обработки и исследовательских комплексов.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- KDC
- Страна
- США
- Рабочие газы
- Смеси
- Тип установки
- Вынесенный или на фланец
- Высота ионного источника, дюйм
- 6.75
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 3.5
- Типовые процессы
- IBSD
- Контроллер питания
- KSC 1212
- Метод генерации ионов
- Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
- Типовой размер пучка у сетки, см
- 4
- Формы пучка
- Расфокусированный
- Обрабатываемые материалы
- Полупроводники
- Типовая установка
- 6 — 18"
- Число нитевых катодов, шт
- 2
- Ионная оптика
- Опционально – коллимированная, фокусированная, дефокусированная
- Сетки ионной оптики
- Специализированы под приложения
- Центровка ионной оптики
- Самовыравнивание
- Типовой размер пучка у сетки ионной оптики, см
- 16
- Нейтрализатор
- Опционально – Sidewinder или LFN 2000
- Опции контроллера
- 4 программы-рецепта
- Максимальное напряжение на аноде (DC), В
- 100
Не забудьте купить
- Тип: Роторные (Рутса)
- Режим работы: Нагнетание
- Серия: 3D
- Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
- Страна: Чехия
- Краткое название: Воздуходувка РУТС KUBICEK 3D19B-051
В корзину
1
- Серия: VPZL
- Страна: США
- Артикул: VPZL-275DUTI
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Фланец: DN35CF-DN40CF (2.75" OD)
- Материал окна: Плавленый кварц
В корзину
1
- Серия: MAV
- Страна: Китай
- Материал корпуса: Нержавеющая сталь 304
- Производитель: King Lai
- Поток натекания: 2E-9 ст.куб.м./сек
- Максимальное рабочее давление, Торр: 760
В корзину
1
- Серия: KRD42
- Страна: Китай
- Производитель: CME
- Электропитание: AC 380 В ±10%, 50 Гц
- Условия эксплуатации: Температура 0 — 40°C, Влажность ≤80% (Без конденсации)
- Стандарты: ISO2248-1985(E) IEC68-2-27 ISTA
В корзину
1
- Серия: ADC
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Фланец: CF63
- Рабочая температура, °С: От -20 до 150
- Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
- Тип: Колонный
- Серия: VSR530
- Страна: Российская Федерация
- Производитель: ERSTVAK
- Максимальное ускорение, g: 20
- Максимальная масса объекта испытаний, кг: 20000
В корзину
1
- Серия: DC
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Рабочая температура, °С: До 150
- Размер A, мм: 60
- Предельное давление, Торр: 10Е-8
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Режим работы: Универсальная
- Серия: SCL
- Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
- Страна: Италия
- Краткое название: Воздуходувка FPZ SCL K09 TS 18,5 kW
В корзину
1
- Серия: 4RC
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Предельное остаточное давление, Торр: 10Е-8
- Рабочая температура, °С: От -20 до 150
- Размер A, мм: 209.7
В корзину
1
- Серия: BL
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Модель: ISOK-BL-100
- Категория: Вакуумная арматура
- Ширина, мм: 11.9
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
