- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Сеточные ионные источники
- Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC160
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC160
product-card
Сеточный ионный источник предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления и модификации поверхности материалов. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности и научных исследованиях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу и точное управление параметрами ионного пучка. Использование сеточной системы позволяет формировать направленный поток ионов с высокой повторяемостью технологического процесса.
Оборудование подходит для работы в составе вакуумных установок напыления, плазменной обработки и исследовательских комплексов.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- KDC
- Страна
- США
- Рабочие газы
- Смеси
- Тип установки
- Вынесенный или на фланец
- Высота ионного источника, дюйм
- 9.92
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.1
- Типовые процессы
- IBSD
- Контроллер питания
- KSC 1212
- Метод генерации ионов
- Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
- Типовой размер пучка у сетки, см
- 16
- Формы пучка
- Расфокусированный
- Обрабатываемые материалы
- Полупроводники
- Типовая установка
- 8 — 45"
- Число нитевых катодов, шт
- 2
- Ионная оптика
- Опционально – коллимированная, фокусированная, дефокусированная
- Сетки ионной оптики
- Специализированы под приложения
- Центровка ионной оптики
- Самовыравнивание
- Типовой размер пучка у сетки ионной оптики, см
- 16
- Нейтрализатор
- Опционально – Sidewinder или LFN 2000
- Опции контроллера
- 4 программы-рецепта
- Максимальное напряжение на аноде (DC), В
- 100
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Масса, кг: 36
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TG
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Suzhou Second New Energy Technology
- Серия: SEC
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 11000 × 6200 × 3500
В корзину
1
- Серия: EMVB
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3800 × 3350 × 3300
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: AGVP-HV
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 746х234х80
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 10
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: BCM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 11400
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 220
- Уровень шума, дБ(А): 75
В корзину
1
- Масса, кг: 6.2
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: NOVA
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 536 × 165
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 18000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: Hiden Analytical
- Серия: HAL/3F
- Страна: Великобритания
В корзину
1
- Тип: Автоматическая
- Производитель: SEMISHARE
- Серия: A
- Страна: Китай
- Высота, мм: 1400
- Ширина, мм: 1467
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 6
- Максимальный крутящий момент, Н·м: 1,49 (15,2 кг·см)
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: UBJ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 126
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
В корзину
1
- Производитель: Thyracont
- Серия: VCR
- Страна: Германия
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 235
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 550*700*1750
В корзину
1
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 64.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 3 × 10⁻⁴
- Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
- Масса, кг: 393
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: E-VAK
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 9432
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 280
- Уровень шума, дБ(А): 105
В корзину
1
