- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Сеточные ионные источники
- Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC160
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC160
product-card
Сеточный ионный источник предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления и модификации поверхности материалов. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности и научных исследованиях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу и точное управление параметрами ионного пучка. Использование сеточной системы позволяет формировать направленный поток ионов с высокой повторяемостью технологического процесса.
Оборудование подходит для работы в составе вакуумных установок напыления, плазменной обработки и исследовательских комплексов.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- KDC
- Страна
- США
- Рабочие газы
- Смеси
- Тип установки
- Вынесенный или на фланец
- Высота ионного источника, дюйм
- 9.92
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 9.1
- Типовые процессы
- IBSD
- Контроллер питания
- KSC 1212
- Метод генерации ионов
- Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
- Типовой размер пучка у сетки, см
- 16
- Формы пучка
- Расфокусированный
- Обрабатываемые материалы
- Полупроводники
- Типовая установка
- 8 — 45"
- Число нитевых катодов, шт
- 2
- Ионная оптика
- Опционально – коллимированная, фокусированная, дефокусированная
- Сетки ионной оптики
- Специализированы под приложения
- Центровка ионной оптики
- Самовыравнивание
- Типовой размер пучка у сетки ионной оптики, см
- 16
- Нейтрализатор
- Опционально – Sidewinder или LFN 2000
- Опции контроллера
- 4 программы-рецепта
- Максимальное напряжение на аноде (DC), В
- 100
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Диаметр выходного вала, мм: 6
- Максимальный крутящий момент, Н·м: 0,90 (9,2 кг·см)
- Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: СОУ
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 228
- Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
- Мощность электродвигателя, кВт: 30
- Уровень шума, дБ(А): 68
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: HN
- Длина, мм: 12.7
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: SGVM
- Длина, мм: 693
- Страна: Китай
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Мощность, кВт: 0.3
- Масса, кг: 31
- Производитель: LINXON
- Серия: LX
- Страна: Швейцария
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 555х305х425
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 900
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA M
- Длина, мм: 850
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Мощность, кВт: 1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: MS
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 6300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 3100
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: Thyracont
- Серия: VCR
- Страна: Германия
В корзину
1
- Серия: EMVT
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 4800 × 3000 × 2420
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 2.6
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8
- Уровень шума, дБ(А): 44
- Масса, кг: 19.9
- Производитель: WELCH
- Серия: LVS
В корзину
1
