Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK VBP1000i

ERSTVAK VBP1000i — бустерный вакуумный насос типа Рутс серии VBPi со встроенным частотным преобразователем. VBP1000i имеет предельное остаточное давление 3 × 10⁻⁴ мбар (абс.), частоту вращения 6000 об/мин, массу 113 кг и габариты 770 × 284 × 215 мм.

Рабочая ступень построена на паре синхронно вращающихся роторов Рутс. Газ переносится от входа к выпуску в рабочих полостях между роторами и корпусом. Встроенный частотный преобразователь позволяет управлять частотой вращения, выполнять плавный пуск и согласовывать работу бустерной ступени с фактической газовой нагрузкой. В рабочую камеру масло не подаётся.

VBP1000i имеет воздушное охлаждение с возможностью водяного исполнения. При интеграции насоса учитывают характеристики форвакуумной ступени, допустимый перепад давления, проводимость трубопроводов и алгоритм управления преобразователем. Скорость откачки и допустимый перепад давления при расчёте системы принимают по модельной характеристике VBP1000i.

Применение

Серия VBPi применяется в вакуумной металлургии и литье, процессах PVD/CVD, полупроводниковом и электронном производстве, сублимационной сушке, холодильной технике, а также в химических, пищевых и фармацевтических вакуумных системах. В каждом случае VBP1000i подбирают как часть насосной группы, а не как изолированный источник вакуума.

Управление и эксплуатация

• встроенный частотный преобразователь регулирует режим вращения;
• предусмотрены плавный пуск и функции дистанционного управления, доступные для серии VBPi;
• охлаждение — воздушное, водяное исполнение предусмотрено как опция;
• рабочий диапазон задаётся настройками ПЧ и характеристиками всей вакуумной системы;
• при подборе проверяют совместимость с форвакуумным насосом и условиями процесса.