- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Сеточные ионные источники
- Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC100
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC100
product-card
Сеточный ионный источник предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления и модификации поверхности материалов. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности и научных исследованиях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу и точное управление параметрами ионного пучка. Использование сеточной системы позволяет формировать направленный поток ионов с высокой повторяемостью технологического процесса.
Оборудование подходит для работы в составе вакуумных установок напыления, плазменной обработки и исследовательских комплексов.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- KDC
- Страна
- США
- Рабочие газы
- Смеси
- Тип установки
- Вынесенный или на фланец
- Высота ионного источника, дюйм
- 9.25
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 7.6
- Типовые процессы
- IBSD
- Контроллер питания
- KSC 1212
- Метод генерации ионов
- Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
- Типовой размер пучка у сетки, см
- 12
- Формы пучка
- Расфокусированный
- Обрабатываемые материалы
- Полупроводники
- Типовая установка
- 8 — 36"
- Число нитевых катодов, шт
- 2
- Ионная оптика
- Опционально – коллимированная, фокусированная, дефокусированная
- Сетки ионной оптики
- Специализированы под приложения
- Центровка ионной оптики
- Самовыравнивание
- Типовой размер пучка у сетки ионной оптики, см
- 12
- Нейтрализатор
- Опционально – Sidewinder или LFN 2000
- Опции контроллера
- 4 программы-рецепта
- Максимальное напряжение на аноде (DC), В
- 100
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Тип: Спиральные
- Производительность, м³/ч: 68.4
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 11
- Уровень шума, дБ(А): 66
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Производитель: KYKY
- Серия: CCQ
- Страна: Китай
В корзину
1
- Охлаждение: Воздушное
- Производитель: PIV
- Серия: TS
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1636 × 1104 × 1340
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EDS
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: XKF
- Длина, мм: 46.3
- Страна: Китай
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 285
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 550*700*1750
В корзину
1
- Масса, кг: 2800
- Производитель: CME
- Серия: KRD11
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1700 × 1500 × 2300
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: VPZL
- Страна: США
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 120
- Мощность, кВт: 2.5
- Охлаждение: Воздушное
- Масса, кг: 103
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VU
В корзину
1
- Масса, кг: 96
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ARCTICA
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 870 × 560 × 970
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 4596
- Избыточное давление, мбар: 700
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 132
- Уровень шума, дБ(А): 81
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 3780
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 2600
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 360
- Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
- Мощность электродвигателя, кВт: 45
- Уровень шума, дБ(А): 76
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 520
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA M
- Длина, мм: 400
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
- Масса, кг: 582
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: E-VAK
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 580
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA M
- Длина, мм: 400
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 10500
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 3600
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 6600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 5.3
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 520
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA M
- Длина, мм: 400
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 186
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
В корзину
1
