- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Сеточные ионные источники
- Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC10
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC10
product-card
Сеточный ионный источник предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления и модификации поверхности материалов. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности и научных исследованиях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу и точное управление параметрами ионного пучка. Использование сеточной системы позволяет формировать направленный поток ионов с высокой повторяемостью технологического процесса.
Оборудование подходит для работы в составе вакуумных установок напыления, плазменной обработки и исследовательских комплексов.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- KDC
- Страна
- США
- Рабочие газы
- Смеси
- Тип установки
- Вынесенный или на фланец
- Высота ионного источника, дюйм
- 4.5
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 1.52
- Типовые процессы
- IBSD
- Контроллер питания
- KSC 1202
- Метод генерации ионов
- Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
- Типовой размер пучка у сетки, см
- 1
- Формы пучка
- Расфокусированный
- Обрабатываемые материалы
- Полупроводники
- Типовая установка
- 2 — 12"
- Число нитевых катодов, шт
- 1
- Ионная оптика
- Опционально – коллимированная, фокусированная, дефокусированная
- Сетки ионной оптики
- Специализированы под приложения
- Центровка ионной оптики
- Самовыравнивание
- Типовой размер пучка у сетки ионной оптики, см
- 1
- Нейтрализатор
- Опционально – Sidewinder или LFN 2000
- Опции контроллера
- 4 программы-рецепта
- Максимальное напряжение на аноде (DC), В
- 100
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Тип: Турбо
- Производительность, м³/ч: 1680
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 37
- Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: CROS
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: Kurt J. Lesker
- Серия: CFT-V
- Страна: США
В корзину
1
- Охлаждение: Воздушное
- Производитель: PIV
- Серия: TS
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1636 × 1104 × 1274
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 25
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 1
В корзину
1
- Мощность, кВт: 15
- Масса, кг: 108
- Серия: MS
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 661х350x406
- Высота оси ротора, мм: 160
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 270
- Тип смазки: Безмасляный (с водяным впрыском)
- Мощность электродвигателя, кВт: 37
- Уровень шума, дБ(А): 68
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Адсорбционные
- Масса, кг: 3400
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EAD
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 2600 × 1300 × 2900
В корзину
1
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 165
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 450*700*1600
В корзину
1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 16.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2 × 10⁻⁴
- Мощность, кВт: 0.85
В корзину
1
Вы смотрели
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: ESST
- Страна: Китай
В корзину
1
