Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S200P

Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S200P — сухой многоступенчатый насос серии EV-S для чистой технологической откачки и процессов с умеренной газовой нагрузкой. Модель обеспечивает скорость откачки 1200 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 0,75 кВт. Вход DN100 и выход DN40 позволяют использовать модель в вакуумных системах с высокой пропускной способностью на всасывании.

Преимущества и особенности

Сухие рабочие ступени перемещают и сжимают газ без масла или жидкого уплотнения в насосной камере. Оптимизированная геометрия роторов и режим холостого хода рассчитаны на снижение энергопотребления в переменных технологических циклах. Компактная конструкция облегчает интеграцию насоса непосредственно в производственное оборудование.

• Безмасляная технология снижает риск обратного переноса масла в вакуумную камеру.
• Многоступенчатая схема обеспечивает откачку от атмосферного давления до рабочего форвакуума в одном агрегате.
• Режим холостого хода позволяет уменьшать потребление энергии при паузах или сниженной нагрузке процесса.
• Водяное охлаждение поддерживает рабочую температуру насосного блока в продолжительных циклах.
• Для семейства EV-S доступны варианты с азотной продувкой и повышенной коррозионной стойкостью.
• Одинаковая характеристика при 50 и 60 Гц упрощает унификацию насосов на производственных площадках.

Применение

EBARA EV-S200P используется в загрузочных шлюзах, SEM, процессах травления, CVD, PVD, озоления и других вакуумных операциях с легкой нагрузкой. Производительность 1200 м³/ч ориентирована на быстрый набор вакуума в камерах среднего и крупного объема, а компактная сухая схема позволяет применять насос там, где важны чистота процесса и ограниченное пространство для оборудования.