- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Сухие винтовые вакуумные насосы
- Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S50N
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S50N
Винтовой вакуумный насос EBARA EV-S50N — сухой многоступенчатый насос серии EV-S для чистых и легких технологических процессов. Модель обеспечивает скорость откачки 300 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,05 мбар (абс.) и мощности 0,55 кВт. Вход DN50 и выход DN25 позволяют интегрировать насос в компактные вакуумные системы с умеренным газовым потоком.
Преимущества и особенности
Газ последовательно проходит через сухие рабочие ступени без применения масла или жидкости для герметизации насосной камеры. Оптимизированная геометрия роторов и электронное управление снижают энергетические потери, а режим холостого хода позволяет уменьшать потребление ресурсов в периоды низкой нагрузки.
- Безмасляная рабочая камера снижает риск загрязнения технологического объема углеводородами.
- Компактная конструкция серии рассчитана на размещение рядом с технологической камерой или внутри оборудования.
- Режим холостого хода уменьшает энергопотребление между активными этапами процесса.
- Водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока и стабилизирует его температуру при длительной работе.
- Для серии доступны коррозионно-стойкие исполнения и варианты с азотной продувкой для соответствующих технологических сред.
- Рабочая характеристика сохраняется при частоте сети 50 и 60 Гц.
Применение
EBARA EV-S50N используется в загрузочных шлюзах, SEM, процессах травления, CVD, PVD, озоления и других легких вакуумных операциях. Скорость откачки 300 м³/ч делает модель промежуточным типоразмером между компактными и более производительными насосами EV-S, сохраняя преимущества сухой откачки и низкого энергопотребления.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 0.05
- Мощность, кВт
- 0.55
- Входной патрубок
- NW50
- Выходной патрубок
- NW50
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 472×230×570
- Масса, кг
- 100
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 2
- Температура охлаждающей воды
- +5 — +30
- Напряжение, В
- 380
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Мирослав ВолодькоРаботают квалифицированные менеджеры. Когда общаешься, сразу видно, что соображают в теме насосного оборудования. Я обращался по поводу форвакуумных насосов. В частности, интересовали мембранные вакуумные насосы. Менеджер провел хорошую презентацию по каждой модели, что помогло найти именно те, что подходили под наши мощности и задачи. Однако есть и одно замечание: привезли на пару дней позже оговренного срока. Не скажу, что это как-то сказалось на работе, но некоторые планы пришлось сдвигать.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: