- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Ионные источники
- Сеточные ионные источники
- Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC75
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC75
product-card
Сеточный ионный источник предназначен для формирования стабильного ионного потока в процессах вакуумного напыления, травления и модификации поверхности материалов. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности и научных исследованиях.
Конструкция источника обеспечивает стабильную работу и точное управление параметрами ионного пучка. Использование сеточной системы позволяет формировать направленный поток ионов с высокой повторяемостью технологического процесса.
Оборудование подходит для работы в составе вакуумных установок напыления, плазменной обработки и исследовательских комплексов.
- Производитель
- Kaufman & Robinson
- Серия
- KDC
- Страна
- США
- Рабочие газы
- Смеси
- Тип установки
- Вынесенный или на фланец
- Высота ионного источника, дюйм
- 7.9
- Диаметр ионного источника, дюйм
- 5.5
- Типовые процессы
- IBSD
- Контроллер питания
- KSC 1212 или KSC 1202
- Метод генерации ионов
- Удерживание плазмы постоянным магнитным полем
- Типовой размер пучка у сетки, см
- 7.5
- Формы пучка
- Расфокусированный
- Обрабатываемые материалы
- Полупроводники
- Типовая установка
- 6 — 24"
- Число нитевых катодов, шт
- 2
- Ионная оптика
- Опционально – коллимированная, фокусированная, дефокусированная
- Сетки ионной оптики
- Специализированы под приложения
- Центровка ионной оптики
- Самовыравнивание
- Типовой размер пучка у сетки ионной оптики, см
- 7.5
- Нейтрализатор
- Опционально – Sidewinder или LFN 2000
- Опции контроллера
- 4 программы-рецепта
- Максимальное напряжение на аноде (DC), В
- 100
Товары из этой же серии
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: KDC
- Страна: США
В корзину
1
Не забудьте купить
- Масса, кг: 39.2
- Серия: DRV
- Страна: Китай
- Диаметр выходного вала, мм: 42
- Диапазон мощности двигателя, кВт: 0,12-4,0
- Комбинация (первая/вторая ступень): 050/110
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: UF
- Страна: Китай
- Ширина, мм: 12.7
В корзину
1
- Охлаждение: Водяное
- Производитель: PIV
- Серия: TS
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: RigorPower
- Серия: RG
- Страна: Индия
В корзину
1
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 90
- Избыточное давление, мбар: 900
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 4
- Уровень шума, дБ(А): 78
В корзину
1
- Масса, кг: 0.675
- Производитель: IPL
- Серия: PLUTONE BIO
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: VCRF
- Страна: Китай
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: AGP
- Длина, мм: 948
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность, кВт: 45
- Масса, кг: 568
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA EW
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1430 × 650 × 595
В корзину
1
- Тип: Адсорбционные
- Охлаждение: Воздушное
- Масса, кг: 8500
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SAHARA HBM
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
