Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-HClaw200

ERSTVAK EV-HClaw200 — сухой вакуумный насос когтевого типа серии EV-HClaw для технологических вакуумных установок. Когтевые роторы работают без контакта друг с другом в рабочей камере, поэтому газовый тракт не требует масла как рабочей среды.

Серия EV-HClaw рассчитана на процессы, в которых требуется управлять температурным режимом и подачей азота. Для герметизации используется комбинированная система, включающая механическое, двойное губчатое и азотное уплотнения. Вал насосного блока поддерживается с двух сторон, в опорах применяются керамические подшипники, а система охлаждения сочетает внутреннее самоохлаждение с водяным контуром.

Конструкция и рабочая среда

Газовый тракт отделён от смазываемых узлов, а подача N₂ используется как один из регулируемых параметров эксплуатации. Конструкция серии ориентирована на процессы, в которых возможны механические загрязнения и воздействие коррозионных факторов. Для электропривода применяются двигатели класса IE4. При интеграции насоса учитывают требования конкретного процесса к температурному режиму, продувочному газу и охлаждению.

Применение

EV-HClaw200 предназначен для технологических процессов полупроводникового и вакуумного производства, связанных с химическим осаждением из газовой фазы и обработкой процессных газов.

• химическое осаждение из плазмы высокой плотности HDP-CVD;
• осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединений MOCVD;
• плазмохимическое осаждение PECVD;
• вакуумное химическое осаждение LPCVD;
• атомно-слоевое осаждение ALD.

При подборе рабочего режима учитывают состав откачиваемой среды, требуемую подачу азота и условия охлаждения. Эти параметры задаются с учётом конкретной технологической установки и режима процесса.