Винтовой вакуумный насос EBARA EST10N

Винтовой вакуумный насос EBARA EST10N — сухой двухступенчатый насос серии EST, предназначенный для технологической откачки в процессах, в которых могут образовываться продукты химических реакций. Модель обеспечивает скорость откачки 60 м³/ч при предельном остаточном давлении 0,27 мбар (абс.) и мощности 2,3 кВт. Входной и выходной патрубки DN40 позволяют интегрировать насос в компактные вакуумные линии.

Преимущества и особенности

Серия EST использует винтовые роторы и сухую рабочую камеру, в которой масло или другая жидкость не применяются для герметизации зоны сжатия. Газ перемещается вдоль рабочих элементов и последовательно сжимается, а система температурного управления поддерживает повышенную температуру внутри насоса, уменьшая вероятность конденсации и осаждения реакционных продуктов.

• Безмасляная схема снижает риск загрязнения технологической камеры и откачиваемого газа рабочей жидкостью.
• Двухступенчатая конструкция обеспечивает последовательное сжатие газа в компактном агрегате.
• Высокотемпературный режим поддерживает газ и летучие продукты реакции в нагретом состоянии внутри насосного тракта.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в серии как базовое конструктивное решение для работы со сложными технологическими средами.
• Водяное охлаждение отводит избыток тепла и помогает контролировать температурный режим узлов насоса.
• Рабочая характеристика серии не зависит от частоты питающей сети 50 или 60 Гц, что упрощает применение оборудования на разных производственных площадках.

Применение

EBARA EST10N используется в технологических вакуумных процессах с реакционными побочными продуктами, включая CVD и близкие по нагрузке операции. Производительность 60 м³/ч ориентирует модель на небольшие камеры и локальные участки оборудования, где важнее устойчивость сухого насоса к процессной нагрузке, чем максимально высокая скорость откачки. Высокотемпературная рабочая схема помогает уменьшить накопление конденсируемых продуктов внутри газового тракта.