Винтовой вакуумный насос EBARA EST300WN

Винтовой вакуумный насос EBARA EST300WN — сухой двухступенчатый насос серии EST, рассчитанный на высоконагруженные процессы с большим газовым потоком и образованием реакционных продуктов. Модель обеспечивает скорость откачки 1800 м³/ч при предельном остаточном давлении 4 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 4,5 кВт. Всасывающий патрубок DN100 и выход DN40 рассчитаны на высокий газовый поток через всасывающую линию крупного сечения.

Преимущества и особенности

Винтовые рабочие элементы перемещают газ вдоль насосного тракта и сжимают его без применения масла для герметизации рабочей камеры. Последовательная работа двух ступеней обеспечивает широкий диапазон давления. Встроенный высокотемпературный режим поддерживает процессный газ и побочные продукты в нагретом состоянии, снижая вероятность конденсации внутри насосного блока.

• Безмасляная конструкция обеспечивает сухую откачку без источника масляного загрязнения со стороны рабочей камеры.
• Производительность 1800 м³/ч рассчитана на быстрое вакуумирование камер и обработку значительного газового потока.
• Высокотемпературная эксплуатация помогает работать с процессами, формирующими реакционные побочные продукты.
• Коррозионно-стойкие материалы входят в стандартную конструкцию серии и повышают устойчивость газового тракта к технологическим средам.
• Водяное охлаждение позволяет управлять тепловым режимом агрегата при продолжительной производственной нагрузке.
• Независимость производительности от частоты 50/60 Гц упрощает эксплуатацию насосов одной серии в разных энергосистемах.

Применение

EBARA EST300WN используется в CVD и других процессах нанесения и обработки, где вакуумный насос сталкивается с высокой газовой нагрузкой и продуктами химических реакций. Скорость откачки 1800 м³/ч позволяет использовать модель на производительных технологических установках, а остаточное давление 4 × 10⁻³ мбар обеспечивает рабочий диапазон для процессов, требующих глубокого форвакуума.