Главная
Каталог
Лабораторное и аналитическое оборудование
Зондовые станции
Зондовая станция с 3-осевым манипулятором SEMISHARE H6

Зондовая станция с 3-осевым манипулятором SEMISHARE H6

Производитель SEMISHARE
Серия H
Страна Китай
Диаметр пластины, мм 150
Размер стола держателя образца, мм 152.4
Тип держателя образца (опционально) Держатель для высоких температур и высокого давления
Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях) Да, держатель образца электрически изолирован
Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм 160 × 160
Точность перемещения платформы держателя образца, мкм 1

В корзину

Описание

Характеристики

Дополнительные характеристики

Модель	H6
Масса, кг	260
Питание, В, Гц	220, 50-60
Крепление образца (при нормальных условиях)	Кольцевая вакуумная адсорбция (доступна опция пористой адсорбции)
Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях)	Да, держатель образца электрически изолирован
Материал стола держателя образца	Нержавеющая сталь 316 / опционально: медь с никелевым или золотым покрытием
Точность перемещения платформы держателя образца, мкм (мм/оборот)	<1 (~1)
Быстрый ход подъема платформы для перемещения держателя образца, мм	5
Ход точной позиционной регулировки платформы для перемещения держателя образца, мм	6
Система быстрого извлечения держателя образца	Не поддерживается
Управление платформой для перемещения держателя образца	Ручное управление маховиками
Крепление зондов	Магнитное или вакуумное
Управление перемещением координатного столика микроскопа (XY)	Регулировка коаксиальным маховиком
Точность тонкой настройки, мкм	Выше 1
Ход микроскопа, мкм	1
Механическая точность зонда, мкм	10 /2 /0,7 (опционально)
Точность измерения тока утечки (Коаксиальный) при 25°C, (экранированная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), пА/В	1
Точность измерения тока утечки (Трехосный) при 25°C, (экранированная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), фА/В	100
Точность измерения тока утечки (Трехосный) при 3 кВ (25°C), (экранированнная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), пА	10
Интерфейсы	Разъемы типа банан/ крокодил/ коаксиальный / трехосный интерфейс

Производитель: SEMISHARE

Серия: H

Страна: Китай

Диаметр пластины, мм: 150

Размер стола держателя образца, мм: 152.4

Тип держателя образца (опционально): Держатель для высоких температур и высокого давления

Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях): Да, держатель образца электрически изолирован

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм: 160 × 160

Точность перемещения платформы держателя образца, мкм: 1

Минимальный шаг позиционирования, мкм: 1

Угол поворота платформы для держателя образца (грубая регулировка), ±град: 360

Диапазон точной настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, ±град: 8

Точность настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, град: 0.002

Быстрый ход подъема платформы для перемещения держателя образца, мм: 5

Длина платформы для крепления зондов, мм: 510

Ширина платформы для крепления зондов, мм: 740

Рабочее расстояние (от верхней поверхности держателя образца до нижней поверхности платформы), мм: 8

Максимальное количество устанавливаемых зондов: 8

Подъем платформы для крепления зондов: 3-ступенчатый подъемник: отделение (300 мкм), загрузка (5 мм), непрерывный подъем (0 — 40 мм)

Микроскоп: Опционально: стереоскопический, видео микроскоп

Минимальное увеличение микроскопа, раз: 20

Максимальное увеличение микроскопа, раз: 2000

Камера микроскопа (опционально), Мп: 6.5 (цифр.)

Ход перемещения координатного столика микроскопа (XY), мм: 50.8

Ход зонда по осям X-Y-Z, мм: 12 × 12 × 12

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм: 3

Длина, мм: 756

Высота, мм: 800

Ширина, мм: 759

Производитель SEMISHARE
Серия H
Страна Китай
Диаметр пластины, мм 150
Размер стола держателя образца, мм 152.4
Тип держателя образца (опционально) Держатель для высоких температур и высокого давления
Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях) Да, держатель образца электрически изолирован
Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм 160 × 160
Точность перемещения платформы держателя образца, мкм 1