Винтовой вакуумный насос EBARA EST500WN

Винтовой вакуумный насос EBARA EST500WN — сухой двухступенчатый насос серии EST для высоконагруженных технологических линий, требующих большой скорости откачки и устойчивости к продуктам реакции. Модель обеспечивает скорость откачки 3000 м³/ч при предельном остаточном давлении 4 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 4,6 кВт. Входной патрубок DN160 рассчитан на высокий газовый поток, а нагнетательный патрубок имеет размер DN40.

Преимущества и особенности

Винтовые роторы последовательно перемещают и сжимают газ в сухой рабочей камере. Масло или другая рабочая жидкость для уплотнения зоны откачки не требуется. Двухступенчатая компоновка сочетается с высокотемпературным управлением, которое поддерживает нагретое состояние технологических газов и снижает вероятность осаждения реакционных побочных продуктов внутри насоса.

• Безмасляный газовый тракт снижает риск загрязнения вакуумной камеры продуктами рабочей жидкости.
• Скорость откачки 3000 м³/ч ориентирована на крупные камеры и процессы с высоким поступлением газа.
• Высокотемпературный режим предназначен для сложных процессов, в которых образуются конденсируемые или осаждающиеся реакционные продукты.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в стандартной конструкции, а усиленные варианты позволяют адаптировать насос к более агрессивной среде.
• Водяное охлаждение обеспечивает отвод тепла при продолжительной работе с высокой нагрузкой.
• Одинаковая насосная характеристика при 50 и 60 Гц упрощает стандартизацию оборудования на разных площадках.

Применение

EBARA EST500WN используется в CVD и других высоконагруженных вакуумных процессах, где требуется быстро откачивать крупные камеры и одновременно контролировать накопление продуктов реакции в насосном тракте. Производительность 3000 м³/ч делает модель наиболее производительной из рассматриваемых EST и позволяет использовать ее на технологических линиях с большим газовым потоком и коротким циклом вакуумирования.