Винтовой вакуумный насос EBARA EST200WN

Винтовой вакуумный насос EBARA EST200WN — сухой двухступенчатый насос серии EST для высоконагруженных технологических процессов и быстрой откачки вакуумных камер. Модель обеспечивает скорость откачки 1200 м³/ч при предельном остаточном давлении 4 × 10⁻³ мбар (абс.) и мощности 3,2 кВт. Вход DN80 и выход DN40 рассчитаны на работу с существенным газовым потоком при компактном нагнетательном подключении.

Преимущества и особенности

Винтовые роторы перемещают и сжимают газ без использования масла или рабочей жидкости в зоне откачки. Две рабочие ступени последовательно снижают давление, а функция высокотемпературной эксплуатации поддерживает нагретое состояние газа и реакционных продуктов внутри насоса. Это снижает вероятность их конденсации и отложения на рабочих поверхностях.

• Сухая рабочая камера подходит для процессов, где необходимо исключить контакт технологического газа с маслом.
• Высокая скорость откачки позволяет быстрее снижать давление в камерах большого объема и работать с повышенным газовым потоком.
• Температурное управление рассчитано на процессы с образованием реакционных побочных продуктов.
• Коррозионно-стойкие материалы применяются в базовой конструкции серии, а для более агрессивных условий предусмотрены усиленные варианты.
• Водяное охлаждение отводит тепло от корпуса и привода, сохраняя контролируемый температурный режим.
• Одинаковая производительность при 50 и 60 Гц упрощает унификацию оборудования на международных производственных площадках.

Применение

EBARA EST200WN используется в CVD и других высоконагруженных вакуумных процессах, где в газовом тракте могут присутствовать продукты реакции. Скорость откачки 1200 м³/ч и остаточное давление 4 × 10⁻³ мбар позволяют использовать модель как производительный сухой насос для технологических камер, в которых одновременно требуются быстрый набор вакуума и устойчивость к процессным загрязнениям.