Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN63S

Насосы серии GEN — сертифицированные (CE и SEMI) высокопроизводительные крионасосы, предназначенные для использования в полупроводниковой промышленности, производстве светодиодов, медицинской диагностике, анализе состояния поверхностей носителей, а также для различных исследований в высоком вакууме.

Насосы спроектированы так, чтобы занять минимум рабочего пространства, что делает установки легкими в обслуживании. Данный тип насосов имеет лучшее отношение скорости откачки к затратам на технологическое обслуживание. Криогенные насосы предлагаются в двух различныхисполнениях — стандартном и с быстрой регенерацией («Q»).

При быстрой регенерации нагревается только одна из ступеней откачки насоса, тем самым увеличивая сорбционную емкость насоса на такие газы, как водород, гелий и аргон. Полную регенерацию насоса при этом нужно проводить после каждых 10 – 15 циклов быстрой регенерации.

Применение

• обработка поверхностей;
• установки имитации космического пространства;
• установки для осаждения распылением;
• ионные источники и электронно-лучевые испарители;
• производство полупроводников и микроэлектроники;
• исследования в области ядерной физики и ускорителей заряженных частиц.

Особенности и преимущества

• полностью безмасляный процесс откачки для высокопроизводительных систем;
• высокая скорость откачки по парам воды;
• достижение максимальных скоростей для входного высоковакуумного фланца
• определенных размеров;
• высокая надежность и срок службы;
• специальная компактная версия насоса «L».

Для всех крионасосов серии GENCRYO требуются следующие компоненты: компрессор, гелиевые шланги, электрические кабели, нагревательные кабели и коробка распределения питания. В зависимости от формы существуют горизонтальные и вертикальные типы, которые изготавливаются по индивидуальному заказу клиентов и могут быть изготовлены диаметром до 900 мм.

Технические характеристики