- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Установки плазменной обработки поверхности
- Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
На этой странице мы поможем подобрать оборудование для решения вашей задачи или проблемы с минимальными сроками и максимальной вовлеченностью с нашей стороны
- В наличии
product-card
Описание товара отсутствует
- Производитель
- ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Вакуумметр
- SMC
- Скорость откачки, м³/ч
- 16
- Мощность, Вт
- 300
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
- Напряжение питания, В
- 220
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 600 × 550 × 580
- Частота, МГц
- 13.56
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 13.5
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 240 × 280 × 200
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 230 × 205
- Слои для обработки
- 1
- Расстояние между монослоями, мм
- 75 — 80
- Регулятор расхода газа
- Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 500
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø8
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Равномерность
- ≤±15%
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Масса, кг
- 80
Товары из этой же серии
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 50
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 55
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 600
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC (По запросу — Пирани)
- Масса, кг: 60
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 200
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 65
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: SMC
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 300
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Предельный вакуум, Па: 1
- Вакуумметр: Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Масса, кг: 80
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Мощность, Вт: 300
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: King Lai
- Модель: AD-BSPT-DN10x025
- Длина, мм: 30
- Размер фланца: DN10
- Назначение: Промышленный
- Внутренний диаметр, мм: 9
В корзину
1
- Мощность нагрузочного двигателя, кВт: 150
- Количество нагрузочных двигателей на ось, шт: 1
- Количество осей, шт: 4
- Максимальная нагрузка на ось, кг: 3500
- Тип тормоза: Гидравлический тормоз
- Диаметр роликов, мм: 1905
В корзину
1
- Режим работы: Охлаждение
- Хладагент: R407C
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Присоединительный размер: DN65
- Напряжение питания, В: 380
- Масса, кг: 920
В корзину
1
- Артикул: LIN1MA100
- Производитель: LINXON
- Мин. определяемое парциальное давление газа, Торр: 1.5E-14
- Тип детектора: EM
- Краткое название: Масс-спектрометр LINXON LIN1MA100
- Максимальная рабочая температура датчика, °C: 150
В корзину
1
- Режим работы: Нагнетание
- Мощность электродвигателя, кВт: 132
- Производитель: Kubicek VHS, s.r.o.
- Краткое название: Воздуходувка РУТС KUBICEK 3D60B-200
- Производительность, м³/ч: 3204
- Уровень шума, дБ(А): 84
В корзину
1
- Артикул: EV-M20N
- Габаритные размеры, мм: 863х370х525
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.05
- Мощность, кВт: 1.2
- Масса, кг: 170
В корзину
1
- Габаритные размеры, мм: 264x401-407
- Производитель: Ebara
- Предельное остаточное давление, мбар: 10^(-10)
- Производительность по азоту, л/с: 900
- Краткое название: Вакуумный насос EBARA EMT900MU-CAB
- Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
В корзину
1
- Мощность электродвигателя, кВт: 30
- Артикул: ESC-40B VSD 10 атм
- Габаритные размеры, мм: 1400 × 930 × 1280
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Присоединительный размер: G1"
- Краткое название: Компрессор ERSTVAK ESC-40B VSD 10 атм
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK Ltd.
- Максимальная скорость, м/с: 3.2
- Максимальное ускорение, g: 28
- Максимальная масса объекта испытаний, кг: 10000
- Минимальная частота, Гц: 0.1
- Максимальная частота, Гц: 60
В корзину
1
- Артикул: 9601055/TN
- Габаритные размеры, мм: 288x170x133
- Производитель: D.V.P. Vacuum Technology Srl
- Наши предложения: old
- Предельное остаточное давление, мбар: 0.5
- Мощность, кВт: 0.25
В корзину
1
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
