9-12 ноября ЭРСТВАК примет участие в выставке "ХИМИЯ-2026"
product-card
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Описание
Характеристики
Отзывы клиентов

Система плазменной обработки подложек серии EV-PLASMA-W предназначена для очистки, активации и модификации поверхности материалов перед нанесением покрытий и выполнением технологических операций. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности, материаловедении и других высокотехнологичных отраслях.

Плазменная обработка позволяет эффективно удалять загрязнения, повышать адгезию покрытий и улучшать свойства поверхности без механического воздействия на материал.

Оборудование обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и подходит для обработки различных типов подложек в составе производственных и исследовательских комплексов.

Скорость откачки, м³/ч
16
Масса, кг
80
Серия
EV-PLASMA-W
Вакуумметр
SMC
Дисплей
4.3"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
600 × 550 × 580
Частота, МГц
13.56
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
13.5
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
240 × 280 × 200
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
230 × 205
Слои для обработки
1
Расстояние между монослоями, мм
75 — 80
Регулятор расхода газа
Высокоточный поплавковый игольчатый клапан
Интенсивность потока, мл
0 — 500
Газовый канал
2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Вакуумная линия
Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
Размер воздушной трубки, мм
Ø8
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Равномерность
≤±15%
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Предельный вакуум, Па
1
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости
Мощность, Вт
300
Аватар пользователя
Валерий Соколюк
Компания Технотрейд

Компания Технотрейд выражает благодарность коллективу ГК ЭРСТВАК за успешное сотрудничество в сфере поставок компрессорного оборудования.

Поставляемые промышленные вихревые воздуходувки ERSTEVAK серий EVH и EVL соответствуют заявленным техническим характеристикам. Так же они зарекомендовали себя как долговечное, неприхотливое и легкое в обслуживании оборудование. Воздуходувки легко интегрируются в различные системы и не требуют постоянного сервисного обслуживания. Отдельную благодарность хотелось бы выразить инженерам и отделу логистики за качественный подбор оборудования и оперативную доставку.

Это из официального письма, а теперь неофициально.)) Спасибо ЭРСТВАК!))))

Аватар пользователя
Дмитрий
ОАО «КЭМЗ»

От лица ОАО «КЭМЗ» хочу выразить благодарность компании Эрствак. В прошлом году приобрели универсальную вакуумную печь закалки в масло. Фотографии печи прикладываю к отзыву. Сотрудники компании осуществили поставку, шефмонтаж, пусконаладку, обучение персонала и ввод в эксплуатацию.

Отдельно хочется поблагодарить инженера Эрнеста Микитюка за оперативное реагирование на запросы консультаций и технической поддержки!

В настоящее время печь активно эксплуатируются на предприятии, показывая себя какоборудование, отвечающее современным требованиям и нормам, удобное и простое в обслуживании.

Сложились хорошие отношения со специалистами компании. Планируем и дальше сотрудничать.

Аватар пользователя
Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Аватар пользователя
Алекс Галиев

Когда выбирал поставщика промышленного оборудования, для меня было главное, чтобы это был не просто поставщик, а и делал всё под ключ. И помимо этого, чтобы компания оказывала техническую поддержку. Вот таким образом мы и остановились на Эрствак. Они смогли предложить комплексную программу нашего с ними сотрудничества и предложили хорошую стоимость за свои услуги и оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

Товары из этой же серии

Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Масса, кг: 80
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: EV-PLASMA-W
В корзину
1

Информация о бренде

ERSTVAK

ERSTVAK — ведущий российский производитель и поставщик высокотехнологичного промышленного оборудования. Эксперт в области вакуумного, термического, компрессорного и испытательного оборудования. Мы — лидеры по поставкам оборудования на рынке вакуумной, аналитической и термической техники в России.

Мы заключили более 100 договоров на сумму свыше 9 млн рублей в год каждый и ежегодно заключаем более 15 000 сделок. Наша миссия — развивать российскую промышленность и экономику, обеспечивая надёжным и современным оборудованием.

Помимо этого, наша конструкторская группа инженеров АСУ ТП имеет более 10 лет опыта решения неординарных задач. Группа оснащена необходимыми системами САПР, что позволяет реализовывать проекты любой сложности. Группой создано 1 050 + уникальных проектов. А под своим брендом мы создаём серийное оборудование ЭРСТВАК с уникальными техническими параметрами.

Не забудьте купить

Турбовоздуходувка TurboMAX MAX150-C080
Турбовоздуходувка TurboMAX MAX150-C080
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 6120
  • Избыточное давление, мбар: 1100
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 110
В корзину
1
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC160
Сеточный ионный источник Kaufman & Robinson KDC160
  • Производитель: Kaufman & Robinson
  • Страна: США
  • Серия: KDC
В корзину
1
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-38-2-Ф
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-38-2-Ф
  • Максимальная температура, °C: 95
  • Корзина для очистки: Есть
  • Внутренние габариты (ШхГхВ), мм: 500 × 300 × 250
  • Масса, кг: 190
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1450 × 1200 × 950
  • Напряжение, В: 380
В корзину
1
Гелиевый течеискатель Pfeiffer Vacuum ASM 340
Гелиевый течеискатель Pfeiffer Vacuum ASM 340
  • Мощность, кВт: 0.85
  • Масса, кг: 56
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 547x375x393
  • Напряжение, В: 220
  • Производитель: Pfeiffer Vacuum
  • Страна: Германия
В корзину
1
Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 67 F 10 бар
Безмасляный спиральный компрессор ERSTVAK ALPINA 67 F 10 бар
  • Тип: Спиральные
  • Производительность, м³/ч: 275.4
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 49.5
  • Уровень шума, дБ(А): 68
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Шиберный затвор KYKY CC-80A (ISO) с ручным приводом
Шиберный затвор KYKY CC-80A (ISO) с ручным приводом
  • Производитель: KYKY
  • Страна: Китай
  • Серия: CC
  • Длина, мм: 136
В корзину
1
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53D
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53D
  • Производитель: Thyracont
  • Страна: Германия
  • Серия: VSL
В корзину
1
Сушильный шкаф ERSTVAK EVCLIM-СШ-1000
Сушильный шкаф ERSTVAK EVCLIM-СШ-1000
  • Максимальная температура, °C: 250
  • Мощность, кВт: 6
  • Внутренние габариты (ШхГхВ), мм: 1000 × 1000 × 1000
  • Время нагрева, мин: 50
  • Точность задания температуры, °C: 0.1
  • Колебание температуры, ±°C: 1
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 60 F
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA M 60 F
  • Производительность, н.м³/час: 60
  • Чистота азота, %: 98
  • Давление на выходе, бар: 8
  • Тип конструкции: Модульная
  • Тип: Адсорбционный
  • Масса, кг: 460
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC150-125-400B-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC150-125-400B-112/4
  • Мощность, кВт: 30
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1613 × 660 × 900
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA EC
  • Максимальная производительность, м³/ч: 198
В корзину
1

Вы смотрели

Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN20S
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN20S
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 6120
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 105 CR
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 105 CR
  • Тип: Когтевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 100
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 100
  • Мощность, кВт: 2.2
В корзину
1
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN30S
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN30S
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 14400
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 515 CR
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 515 CR
  • Тип: Когтевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 500
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 200
  • Мощность, кВт: 9
В корзину
1
Портальный фрезерный обрабатывающий центр EMVG-8032
Портальный фрезерный обрабатывающий центр EMVG-8032
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 18000 × 6500 × 5500
  • Страна: Китай
  • Серия: EMVG
В корзину
1
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVH 46/50 3 ф
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVH 46/50 3 ф
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Вихревые
  • Производительность, м³/ч: 165
  • Избыточное давление, мбар: 500
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 3.3
В корзину
1
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN MV 500-60
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN MV 500-60
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 23700
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 385
  • Разрежение, мбар: 500
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT1300M-BAС
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT1300M-BAС
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 15.012
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-10
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Мембранный вакуумный насос WELCH MPC 601 T
Мембранный вакуумный насос WELCH MPC 601 T
  • Тип: Мембранные
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 4.5
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
  • Мощность, кВт: 0.37
В корзину
1
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D
Сухой вакуумный насос EBARA ESA 80W-D
  • Тип: Многоступенчатые типа Рутс
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 504
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0013
  • Мощность, кВт: 7.4
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!