Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1

Скорость откачки, м³/ч

16

Масса, кг

80

Производитель

ERSTVAK

Серия

EV-PLASMA-W

Страна

Российская Федерация

Вакуумметр

SMC

Дисплей

4.3"

Программное обеспечение

Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм

600 × 550 × 580

Частота, МГц

13.56

Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь

Автоматическое согласование полных сопротивлений

Режим разрядки

RIE

Производительность, л

13.5

Электрод

Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью

Габариты камеры, мм

240 × 280 × 200

Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм

230 × 205

Слои для обработки

1

Расстояние между монослоями, мм

75 — 80

Регулятор расхода газа

Высокоточный поплавковый игольчатый клапан

Интенсивность потока, мл

0 — 500

Газовый канал

2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).

Вакуумная линия

Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан

Размер воздушной трубки, мм

Ø8

Частота газа

99.999%

Выхлопное отверстие

KF25

Равномерность

≤±15%

Минимальное давление газа, МПа

0.3

Максимальное давление газа, МПа

0.6

Программируемый логический контроллер

Panasonic

Предельный вакуум, Па

1

Материал камеры

Нержавеющая сталь 316/8K зеркальная поверхность для обеспечения чистоты полости

Мощность, Вт

300