Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT1300M-BAС

Насосы серии EMT являются абсолютно безмасляными. Эти насосы рассчитаны на работу в тяжелых условиях, например, при производстве полупроводников и изделий микроэлектроники, так и для целей получения сверхвысокого вакуума. Насосы данной серии оборудованы подшипником с пяти-координатным магнитным подвесом, что делает их срок службы практически неограниченным.

Помимо уже перечисленных преимуществ, насос обладает хорошей массо-габаритной характеристикой, имеет возможность свободной установки в любом положении в пространстве, а также низкую стоимость владения, сводя затраты на его обслуживание в процессе эксплуатации к минимуму.

Особенности и преимущества

• полностью магнитный подвес — срок службы подшипникового узла практически неограничен;
• установка в любом положении в пространстве;
• высокий откачиваемый поток;
• компактность;
• система контроля вращения ротора;
• низкий уровень вибрации;
• водяное или воздушное охлаждение;
• защитный экран в комплекте поставки;
• продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
• система электронного торможения ротора;
• коммуникационная связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.;
• передовые системы защиты от случайного прорыва атмосферы и прекращения подачи электропитания.

Применение

• установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
• плазмохимическое и физическое осаждение из паровой фазы;
• масс-спектрометрия шлюзовые камеры и транспортировочные камеры;
• установки нанесения тонких пленок;
• установки для ионного распыления;
• sem/tem электронная микроскопия;
• микроэлектромеханические системы;
• литография;
• xps и нанотехнологии.

Опционально: система температурного контроля, работа со сверхнизким уровнем вибрации, радиационно-стойкое исполнение, создание сверхвысокого вакуума, коррозионностойкое исполнение.