9-12 ноября ЭРСТВАК примет участие в выставке "ХИМИЯ-2026"
product-card
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Описание
Характеристики
Отзывы клиентов

Система плазменной обработки подложек серии EV-PLASMA-W предназначена для очистки, активации и модификации поверхности материалов перед нанесением покрытий и выполнением технологических операций. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности, материаловедении и других высокотехнологичных отраслях.

Плазменная обработка позволяет эффективно удалять загрязнения, повышать адгезию покрытий и улучшать свойства поверхности без механического воздействия на материал.

Оборудование обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и подходит для обработки различных типов подложек в составе производственных и исследовательских комплексов.

Скорость откачки, м³/ч
16
Масса, кг
80
Серия
EV-PLASMA-W
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Дисплей
4.3"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
553 × 553 × 732
Частота, МГц
13.56
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
13.5
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
240 × 280 × 200
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
210 × 204
Слои для обработки
3
Расстояние между монослоями, мм
45
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC)
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Вакуумная линия
Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
Размер воздушной трубки, мм
Ø8
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Равномерность
≤±15%
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Предельный вакуум, Па
1
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316
Мощность, Вт
300
Аватар пользователя
Валерий Соколюк
Компания Технотрейд

Компания Технотрейд выражает благодарность коллективу ГК ЭРСТВАК за успешное сотрудничество в сфере поставок компрессорного оборудования.

Поставляемые промышленные вихревые воздуходувки ERSTEVAK серий EVH и EVL соответствуют заявленным техническим характеристикам. Так же они зарекомендовали себя как долговечное, неприхотливое и легкое в обслуживании оборудование. Воздуходувки легко интегрируются в различные системы и не требуют постоянного сервисного обслуживания. Отдельную благодарность хотелось бы выразить инженерам и отделу логистики за качественный подбор оборудования и оперативную доставку.

Это из официального письма, а теперь неофициально.)) Спасибо ЭРСТВАК!))))

Аватар пользователя
Дмитрий
ОАО «КЭМЗ»

От лица ОАО «КЭМЗ» хочу выразить благодарность компании Эрствак. В прошлом году приобрели универсальную вакуумную печь закалки в масло. Фотографии печи прикладываю к отзыву. Сотрудники компании осуществили поставку, шефмонтаж, пусконаладку, обучение персонала и ввод в эксплуатацию.

Отдельно хочется поблагодарить инженера Эрнеста Микитюка за оперативное реагирование на запросы консультаций и технической поддержки!

В настоящее время печь активно эксплуатируются на предприятии, показывая себя какоборудование, отвечающее современным требованиям и нормам, удобное и простое в обслуживании.

Сложились хорошие отношения со специалистами компании. Планируем и дальше сотрудничать.

Аватар пользователя
Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Аватар пользователя
Алекс Галиев

Когда выбирал поставщика промышленного оборудования, для меня было главное, чтобы это был не просто поставщик, а и делал всё под ключ. И помимо этого, чтобы компания оказывала техническую поддержку. Вот таким образом мы и остановились на Эрствак. Они смогли предложить комплексную программу нашего с ними сотрудничества и предложили хорошую стоимость за свои услуги и оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

Товары из этой же серии

Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Масса, кг: 80
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: EV-PLASMA-W
В корзину
1

Информация о бренде

ERSTVAK

ERSTVAK — ведущий российский производитель и поставщик высокотехнологичного промышленного оборудования. Эксперт в области вакуумного, термического, компрессорного и испытательного оборудования. Мы — лидеры по поставкам оборудования на рынке вакуумной, аналитической и термической техники в России.

Мы заключили более 100 договоров на сумму свыше 9 млн рублей в год каждый и ежегодно заключаем более 15 000 сделок. Наша миссия — развивать российскую промышленность и экономику, обеспечивая надёжным и современным оборудованием.

Помимо этого, наша конструкторская группа инженеров АСУ ТП имеет более 10 лет опыта решения неординарных задач. Группа оснащена необходимыми системами САПР, что позволяет реализовывать проекты любой сложности. Группой создано 1 050 + уникальных проектов. А под своим брендом мы создаём серийное оборудование ЭРСТВАК с уникальными техническими параметрами.

Не забудьте купить

Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN 20-80
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN 20-80
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 600
  • Избыточное давление, мбар: 800
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 15
В корзину
1
Фланцевый переходник King Lai AD-BSPT-DN25x075 с наружной резьбой
Фланцевый переходник King Lai AD-BSPT-DN25x075 с наружной резьбой
  • Производитель: King Lai
  • Страна: Китай
  • Серия: BSPT
  • Длина, мм: 30
В корзину
1
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 31/29 3ф
Вихревая воздуходувка ERSTVAK EVL 31/29 3ф
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Вихревые
  • Производительность, м³/ч: 110
  • Избыточное давление, мбар: 290
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 1.5
В корзину
1
Вакуумная система DVP CPV 60/25
Вакуумная система DVP CPV 60/25
  • Скорость откачки, м³/ч: 60
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
  • Мощность, кВт: 1.5
  • Производитель: DVP
  • Страна: Италия
  • Серия: CPV
В корзину
1
Одноступенчатый криокулер RDK-500B2
Одноступенчатый криокулер RDK-500B2
  • Количество ступеней: 1
  • Масса, кг: 25
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 570 х 180 х 325
  • Производитель: SHI
  • Страна: Япония
  • Серия: 20K
В корзину
1
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-25B-500D 15 атм
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-25B-500D 15 атм
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 90
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
  • Уровень шума, дБ(А): 65
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Тройник-переходник King Lai KF-RT-50x16
Тройник-переходник King Lai KF-RT-50x16
  • Производитель: King Lai
  • Страна: Китай
  • Серия: RT
  • Длина, мм: 140
В корзину
1
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 102 мм
Армированный вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 102 мм
  • Масса, кг: 3.49
  • Производитель: IPL
  • Страна: Китай
  • Серия: PLUTONE BIO
  • Краткое название: Вакуумный шланг IPL PLUTONE BIO ПВХ 102 мм
  • Рабочее давление, бар: 2
В корзину
1
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW80-50-315A-112/4
Центробежный насос ERSTVAK LAGUNA EW80-50-315A-112/4
  • Мощность, кВт: 5.5
  • Масса, кг: 235
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1100 × 490 × 595
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA EW
В корзину
1
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC65-50-160A-112/4
Центробежный химостойкий насос ERSTVAK LAGUNA EC65-50-160A-112/4
  • Мощность, кВт: 0.55
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 895 × 360 × 477
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: LAGUNA EC
  • Максимальная производительность, м³/ч: 13.600000
В корзину
1

Вы смотрели

Вакуумный откачной пост ERSTVAK MT-Turbo K700-DVS20
Вакуумный откачной пост ERSTVAK MT-Turbo K700-DVS20
  • Охлаждение: воздушное
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: MT-Turbo
  • Предельное остаточное давление турбомолекулярного насоса, мбар: 6
  • Предельное остаточное давление форвакуумного насоса, мбар: 0.03
В корзину
1
Вакуумная печь спекания изделий ERSTVAK VSIM-336
Вакуумная печь спекания изделий ERSTVAK VSIM-336
  • Максимальная температура, °C: 1550
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: VSIM
  • Краткое название: Вакуумная печь ERSTVAK VSIM-336
В корзину
1
Трубчатая вращающаяся печь ERSTVAK RF-400-3
Трубчатая вращающаяся печь ERSTVAK RF-400-3
  • Максимальная температура, °C: 1050
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: RF
В корзину
1
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN M 125-60
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN M 125-60
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 4920
  • Избыточное давление, мбар: 600
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 90
В корзину
1
Мембранный вакуумный насос WELCH MPR 030 Z-EC
Мембранный вакуумный насос WELCH MPR 030 Z-EC
  • Тип: Мембранные
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 0.35
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
  • Мощность, кВт: 0.02
В корзину
1
Лабораторная лиофильная сушилка ERSTVAK EV-DF18SA-TP
Лабораторная лиофильная сушилка ERSTVAK EV-DF18SA-TP
  • Масса, кг: 105
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 630 × 580 × 970
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Серия: EV-DF
  • Краткое название: Лиофильная сушилка ERSTVAK EV-DF18SA-TP
В корзину
1
Сверлильно-фрезерный обрабатывающий центр EMVT-1360
Сверлильно-фрезерный обрабатывающий центр EMVT-1360
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3200 × 3000 × 2420
  • Страна: Китай
  • Серия: EMVT
В корзину
1
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN MV 150-60
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN MV 150-60
  • Тип конструкции: Моноблочная
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 7080
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 110
  • Разрежение, мбар: 600
В корзину
1
Ввод вращения с магнитным уплотнением (консольный тип) ERSTVAK EVHFF020NN
Ввод вращения с магнитным уплотнением (консольный тип) ERSTVAK EVHFF020NN
  • Производитель: ERSTVAK
  • Страна: Российская Федерация
  • Диаметр выходного вала, мм: 20
  • Тип вакуума: Сверхвысокий вакуум
В корзину
1
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-CAB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-CAB
  • Тип: Турбомолекулярные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Скорость откачки, м³/ч: 5040
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-8
  • Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!