- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Вакуумные технологии поверхности
- Установки плазменной обработки поверхности
- Системы плазменной обработки в вакууме
- Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек серии EV-PLASMA-W предназначена для очистки, активации и модификации поверхности материалов перед нанесением покрытий и выполнением технологических операций. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности, материаловедении и других высокотехнологичных отраслях.
Плазменная обработка позволяет эффективно удалять загрязнения, повышать адгезию покрытий и улучшать свойства поверхности без механического воздействия на материал.
Оборудование обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и подходит для обработки различных типов подложек в составе производственных и исследовательских комплексов.
- Скорость откачки, м³/ч
- 16
- Масса, кг
- 80
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 553 × 553 × 732
- Частота, МГц
- 13.56
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 13.5
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 240 × 280 × 200
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 210 × 204
- Слои для обработки
- 3
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC)
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø8
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Равномерность
- ≤±15%
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316
- Мощность, Вт
- 300
Валерий СоколюкКомпания ТехнотрейдКомпания Технотрейд выражает благодарность коллективу ГК ЭРСТВАК за успешное сотрудничество в сфере поставок компрессорного оборудования.
Поставляемые промышленные вихревые воздуходувки ERSTEVAK серий EVH и EVL соответствуют заявленным техническим характеристикам. Так же они зарекомендовали себя как долговечное, неприхотливое и легкое в обслуживании оборудование. Воздуходувки легко интегрируются в различные системы и не требуют постоянного сервисного обслуживания. Отдельную благодарность хотелось бы выразить инженерам и отделу логистики за качественный подбор оборудования и оперативную доставку.
Это из официального письма, а теперь неофициально.)) Спасибо ЭРСТВАК!))))
ДмитрийОАО «КЭМЗ»От лица ОАО «КЭМЗ» хочу выразить благодарность компании Эрствак. В прошлом году приобрели универсальную вакуумную печь закалки в масло. Фотографии печи прикладываю к отзыву. Сотрудники компании осуществили поставку, шефмонтаж, пусконаладку, обучение персонала и ввод в эксплуатацию.
Отдельно хочется поблагодарить инженера Эрнеста Микитюка за оперативное реагирование на запросы консультаций и технической поддержки!
В настоящее время печь активно эксплуатируются на предприятии, показывая себя какоборудование, отвечающее современным требованиям и нормам, удобное и простое в обслуживании.
Сложились хорошие отношения со специалистами компании. Планируем и дальше сотрудничать.
Виталий ГришинСравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.
Алекс ГалиевКогда выбирал поставщика промышленного оборудования, для меня было главное, чтобы это был не просто поставщик, а и делал всё под ключ. И помимо этого, чтобы компания оказывала техническую поддержку. Вот таким образом мы и остановились на Эрствак. Они смогли предложить комплексную программу нашего с ними сотрудничества и предложили хорошую стоимость за свои услуги и оборудование.
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: