Приходите на мероприятия в сентябре: Термообработка (16-18.09), EFRE (14-18.09), Вакуумная наука и техника (15-18.09), Агропродмаш (28.09-01.10)
product-card
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Описание
Характеристики
Отзывы клиентов

Система плазменной обработки подложек серии EV-PLASMA-W предназначена для очистки, активации и модификации поверхности материалов перед нанесением покрытий и выполнением технологических операций. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности, материаловедении и других высокотехнологичных отраслях.

Плазменная обработка позволяет эффективно удалять загрязнения, повышать адгезию покрытий и улучшать свойства поверхности без механического воздействия на материал.

Оборудование обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и подходит для обработки различных типов подложек в составе производственных и исследовательских комплексов.

Скорость откачки, м³/ч
16
Масса, кг
80
Вакуумметр
Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
Дисплей
4.3"
Программное обеспечение
Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
553 × 553 × 732
Частота, МГц
13.56
Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
Автоматическое согласование полных сопротивлений
Режим разрядки
RIE
Производительность, л
13.5
Электрод
Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
Габариты камеры, мм
240 × 280 × 200
Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
210 × 204
Слои для обработки
3
Расстояние между монослоями, мм
45
Регулятор расхода газа
Регулятор массового расхода (MFC)
Интенсивность потока, мл
0 — 300
Газовый канал
2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
Вакуумная линия
Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
Размер воздушной трубки, мм
Ø8
Частота газа
99.999%
Выхлопное отверстие
KF25
Равномерность
≤±15%
Минимальное давление газа, МПа
0.3
Максимальное давление газа, МПа
0.6
Программируемый логический контроллер
Panasonic
Предельный вакуум, Па
1
Материал камеры
Нержавеющая сталь 316
Мощность, Вт
300
Аватар пользователя
Валерий Соколюк
Компания Технотрейд

Компания Технотрейд выражает благодарность коллективу ГК ЭРСТВАК за успешное сотрудничество в сфере поставок компрессорного оборудования.

Поставляемые промышленные вихревые воздуходувки ERSTEVAK серий EVH и EVL соответствуют заявленным техническим характеристикам. Так же они зарекомендовали себя как долговечное, неприхотливое и легкое в обслуживании оборудование. Воздуходувки легко интегрируются в различные системы и не требуют постоянного сервисного обслуживания. Отдельную благодарность хотелось бы выразить инженерам и отделу логистики за качественный подбор оборудования и оперативную доставку.

Это из официального письма, а теперь неофициально.)) Спасибо ЭРСТВАК!))))

Аватар пользователя
Дмитрий
ОАО «КЭМЗ»

От лица ОАО «КЭМЗ» хочу выразить благодарность компании Эрствак. В прошлом году приобрели универсальную вакуумную печь закалки в масло. Фотографии печи прикладываю к отзыву. Сотрудники компании осуществили поставку, шефмонтаж, пусконаладку, обучение персонала и ввод в эксплуатацию.

Отдельно хочется поблагодарить инженера Эрнеста Микитюка за оперативное реагирование на запросы консультаций и технической поддержки!

В настоящее время печь активно эксплуатируются на предприятии, показывая себя какоборудование, отвечающее современным требованиям и нормам, удобное и простое в обслуживании.

Сложились хорошие отношения со специалистами компании. Планируем и дальше сотрудничать.

Аватар пользователя
Виталий Гришин

Сравнивал большое количество поставщиков оборудования. Эрствак выиграл тем, что предлагает комплекс: это и имеющееся различное оборудование, его производство, имеют возможность что-то кастомизировать. Для нас такой формат удобен. Потому мы и заключили договор.

Аватар пользователя
Алекс Галиев

Когда выбирал поставщика промышленного оборудования, для меня было главное, чтобы это был не просто поставщик, а и делал всё под ключ. И помимо этого, чтобы компания оказывала техническую поддержку. Вот таким образом мы и остановились на Эрствак. Они смогли предложить комплексную программу нашего с ними сотрудничества и предложили хорошую стоимость за свои услуги и оборудование.

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:

Товары из этой же серии

Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W1
  • Скорость откачки, м³/ч: 16
  • Масса, кг: 80
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-PLASMA-W
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1

Информация о бренде

ERSTVAK

Выпускаем надежное оборудование и товары собственной торговой марки ERSTVAK.

Сегодня в компании 26 инженеров, грамотный тендерный отдел — в портфолио 3360 реализованных проектов. Выполняем гособоронзаказы.

Не забудьте купить

Ротационный испаритель BIOBASE RE-2002
Ротационный испаритель BIOBASE RE-2002
  • Масса, кг: 136
  • Производитель: BIOBASE
  • Серия: RE
  • Страна: Германия
В корзину
1
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA 75-10
Винтовой компрессор ERSTVAK AURORA 75-10
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 534
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Мощность электродвигателя, кВт: 55
  • Уровень шума, дБ(А): 70
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1
Вакуумная дегазационная установка ERSTVAK CLAWEX 150
Вакуумная дегазационная установка ERSTVAK CLAWEX 150
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 120
  • Мощность, кВт: 3.5
  • Масса, кг: 400
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: CLAWEX
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-320
Криогенный насос ERSTVAK CryoVac EV-CTP-320
  • Тип: Криогенные
  • Уровень вакуума: Сверхвысокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 14400
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
  • Охлаждение: Водяное
В корзину
1
Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 400
Диффузионный вакуумный насос ERSTVAK EVD 400
  • Тип: Диффузионные
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Масляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 252
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 7 × 10⁻⁷
  • Мощность, кВт: 5
В корзину
1
Когтевой компрессор ERSTVAK CLAW-AP 405-1.8
Когтевой компрессор ERSTVAK CLAW-AP 405-1.8
  • Тип: Когтевые
  • Производительность, м³/ч: 400.2
  • Тип смазки: Безмасляный (сухой)
  • Частота вращения, об/мин: 2850
  • Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
  • Уровень шума, дБ(А): 81
В корзину
1
Ротационный испаритель BIOBASE RE-201D
Ротационный испаритель BIOBASE RE-201D
  • Масса, кг: 21
  • Производитель: BIOBASE
  • Серия: RE
  • Страна: Германия
В корзину
1
Электродвигатель АИР90L4 IM1081 2,2-1500
Электродвигатель АИР90L4 IM1081 2,2-1500
  • Мощность, кВт: 2.2
  • Масса, кг: 17
  • Серия: АИР
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 360x250x195
  • Высота оси ротора, мм: 90
В корзину
1
Гидравлический стенд с шинным сопряжением ERSTVAK VSR510
Гидравлический стенд с шинным сопряжением ERSTVAK VSR510
  • Тип: Колонный
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VSR510
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-30B-500 10 атм
Компрессорная станция ERSTVAK ESC-30B-500 10 атм
  • Тип: Винтовые
  • Производительность, м³/ч: 192
  • Тип смазки: Маслозаполненный
  • Мощность электродвигателя, кВт: 22
  • Уровень шума, дБ(А): 62
  • Количество ступеней: 1
В корзину
1

Вы смотрели

Ламинарный бокс вертикального потока ERSTVAK FLOWBOX V-T18
Ламинарный бокс вертикального потока ERSTVAK FLOWBOX V-T18
  • Производительность, м³/ч: 393
  • Уровень шума, дБ(А): 62
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: V
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Многоосевой гидравлический вибростенд ERSTVAK STP-500
Многоосевой гидравлический вибростенд ERSTVAK STP-500
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: STP
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вакуумная печь спекания изделий ERSTVAK VSIM-336
Вакуумная печь спекания изделий ERSTVAK VSIM-336
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VSIM
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 800 F
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 800 F
  • Тип: Адсорбционный
  • Масса, кг: 5400
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: ALMA
  • Длина, мм: 3150
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-420-ПМ
Ультразвуковая система очистки ERSTVAK СОУ-420-ПМ
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: СОУ
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 200 F
Адсорбционный генератор азота ERSTVAK ALMA 200 F
  • Тип: Адсорбционный
  • Масса, кг: 2200
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: ALMA
  • Длина, мм: 2200
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Система испытания накопителей энергии Stropower ESST-1600-1000
Система испытания накопителей энергии Stropower ESST-1600-1000
  • Производитель: Xi'an Stropower Technologies
  • Серия: ESST
  • Страна: Китай
В корзину
1
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN MV 125-50
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN MV 125-50
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 6180
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 90
  • Разрежение, мбар: 500
  • Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN M 300-120
Турбовоздуходувка ERSTVAK ERIN M 300-120
  • Тип: Турбо
  • Производительность, м³/ч: 7020
  • Избыточное давление, мбар: 1200
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 220
  • Уровень шума, дБ(А): 80
В корзину
1
Вакуумный откачной пост ERSTVAK MT-Turbo K150-DES75
Вакуумный откачной пост ERSTVAK MT-Turbo K150-DES75
  • Охлаждение: воздушное
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MT-Turbo
  • Страна: Российская Федерация
  • Предельное остаточное давление турбомолекулярного насоса, мбар: 9
  • Предельное остаточное давление форвакуумного насоса, мбар: 0.08
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!