Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2

Производитель

ERSTVAK

Серия

EV-PLASMA-W

Напряжение питания, В

220

Страна

Российская Федерация

Вакуумметр

Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани

Скорость откачки, м³/ч

16

Дисплей

4.3"

Программное обеспечение

Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм

553 × 553 × 732

Частота, МГц

13.56

Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь

Автоматическое согласование полных сопротивлений

Режим разрядки

RIE

Производительность, л

13.5

Электрод

Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью

Габариты камеры, мм

240 × 280 × 200

Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм

210 × 204

Слои для обработки

3

Расстояние между монослоями, мм

45

Регулятор расхода газа

Регулятор массового расхода (MFC)

Интенсивность потока, мл

0 — 300

Газовый канал

2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).

Вакуумная линия

Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан

Размер воздушной трубки, мм

Ø8

Частота газа

99.999%

Выхлопное отверстие

KF25

Равномерность

≤±15%

Минимальное давление газа, МПа

0.3

Максимальное давление газа, МПа

0.6

Программируемый логический контроллер

Panasonic

Предельный вакуум, Па

1

Материал камеры

Нержавеющая сталь 316

Мощность, Вт

300

Масса, кг

80