- Главная
- Каталог
- Металлообработка и поверхностная инженерия
- Вакуумные технологии поверхности
- Установки плазменной обработки поверхности
- Системы плазменной обработки в вакууме
- Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
Система плазменной обработки подложек ERSTVAK EV-PLASMA-W2
product-card
Система плазменной обработки подложек серии EV-PLASMA-W предназначена для очистки, активации и модификации поверхности материалов перед нанесением покрытий и выполнением технологических операций. Оборудование применяется в микроэлектронике, оптической промышленности, материаловедении и других высокотехнологичных отраслях.
Плазменная обработка позволяет эффективно удалять загрязнения, повышать адгезию покрытий и улучшать свойства поверхности без механического воздействия на материал.
Оборудование обеспечивает стабильную работу в вакуумной среде и подходит для обработки различных типов подложек в составе производственных и исследовательских комплексов.
- Скорость откачки, м³/ч
- 16
- Масса, кг
- 80
- Производитель
- ERSTVAK
- Серия
- EV-PLASMA-W
- Страна
- Российская Федерация
- Вакуумметр
- Высокоточный резистивный вакуумметр Пирани
- Дисплей
- 4.3"
- Программное обеспечение
- Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и повторяемая, многоязычная
- Внешние габариты (Д×Ш×В), мм
- 553 × 553 × 732
- Частота, МГц
- 13.56
- Радиационно-стойкий высокочастотный согласователь
- Автоматическое согласование полных сопротивлений
- Режим разрядки
- RIE
- Производительность, л
- 13.5
- Электрод
- Специальный электрод из алюминиевого сплава с высокой проводимостью
- Габариты камеры, мм
- 240 × 280 × 200
- Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм
- 210 × 204
- Слои для обработки
- 3
- Расстояние между монослоями, мм
- 45
- Регулятор расхода газа
- Регулятор массового расхода (MFC)
- Интенсивность потока, мл
- 0 — 300
- Газовый канал
- 2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).
- Вакуумная линия
- Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан
- Размер воздушной трубки, мм
- Ø8
- Частота газа
- 99.999%
- Выхлопное отверстие
- KF25
- Равномерность
- ≤±15%
- Минимальное давление газа, МПа
- 0.3
- Максимальное давление газа, МПа
- 0.6
- Программируемый логический контроллер
- Panasonic
- Предельный вакуум, Па
- 1
- Материал камеры
- Нержавеющая сталь 316
- Мощность, Вт
- 300
Товары из этой же серии
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 50
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 55
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 60
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 8
- Масса, кг: 65
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 80
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-W
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Информация о бренде
Выпускаем надежное оборудование и товары собственной торговой марки ERSTVAK.
Сегодня в компании 26 инженеров, грамотный тендерный отдел — в портфолио 3360 реализованных проектов. Выполняем гособоронзаказы.
Не забудьте купить
- Серия: EMVT
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1800 × 2200 × 2600
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 6120
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 450
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
- Мощность, кВт: 30
- Частота вращения, об/мин: 970
В корзину
1
- Мощность, кВт: 2.3
- Масса, кг: 220
- Производитель: Pfeiffer Vacuum
- Серия: ASM
- Страна: Германия
- Уровень шума, дБ: 55
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: OXIA M
- Длина, мм: 850
- Страна: Российская Федерация
- Высота, мм: 1810
- Ширина, мм: 1730
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1738.2
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Мощность электродвигателя, кВт: 185
- Уровень шума, дБ(А): 77
- Количество ступеней: 1
В корзину
1
- Тип: Адсорбционные
- Масса, кг: 1700
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: SAHARA H
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1580 × 1550 × 2719
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ATU
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 1320
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Мощность электродвигателя, кВт: 132
- Уровень шума, дБ(А): 85
- Количество ступеней: 2
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: RF
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 145
- Избыточное давление, мбар: 160
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 0.8
- Разрежение, мбар: 150
В корзину
1
- Тип: Вихревые
- Производительность, м³/ч: 120
- Избыточное давление, мбар: 280
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.1
- Разрежение, мбар: 240
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: RF
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производитель: Kaufman & Robinson
- Серия: SHC
- Страна: США
В корзину
1
- Тип: Мембранные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 0.35
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
- Мощность, кВт: 0.02
В корзину
1
- Мощность, кВт: 30
- Производитель: Xi'an Stropower Technologies
- Серия: MT
- Страна: Китай
- Уровень шума, дБ: 70
В корзину
1
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 100
- Мощность, кВт: 1.1
В корзину
1
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 2710
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: ALMA
- Длина, мм: 2250
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
