product-card
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53D
Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53D
Описание
Характеристики

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53D — модель линейки VSL. Серия объединяет пьезорезистивный сенсор и датчик Пирани, чтобы одним прибором отслеживать переход от атмосферного давления к вакууму.

Назначение шлюзового датчика

Шлюзовая камера изолирует основную вакуумную систему от атмосферы при загрузке изделий. После закрытия камеры воздух откачивается, и только при достижении допустимого давления открывается соединение с основной установкой. Датчик должен быстро отслеживать изменение давления и передавать достоверный сигнал системе управления.

Принцип измерения

  • пьезорезистивный сенсор контролирует абсолютное давление на верхнем участке диапазона;
  • датчик Пирани измеряет давление после перехода в вакуумную область;
  • электроника объединяет показания в единый измерительный сигнал.

Преимущества серии

  • специализация для шлюзовых систем;
  • быстрый контроль циклов загрузки и разгрузки;
  • два измерительных принципа в одном корпусе;
  • непрерывное отслеживание стадии откачки;
  • сокращение количества отдельных датчиков;
  • возможность автоматического управления клапанами и насосами;
  • повышение воспроизводимости длительности шлюзового цикла.

Области применения

Серия применяется в полупроводниковом, тонкопленочном и другом вакуумном оборудовании с переходными камерами. Датчики помогают определить готовность шлюза к соединению с рабочей камерой и предотвращают нарушение вакуумного режима основной установки.

Производитель
Thyracont
Серия
VSL
Страна
Германия
Степень защиты
IP40 (IP54)
Температура хранения
-40 — +65
Время отклика, мс
40
Выходной сигнал
0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения
Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)
Электрическое подключение
RS485/0–10 В: SubD, 15-полюсный, штекер
Потребляемая мощность
доп 1.6 Вт для Profinet)
Материалы, контактирующие с вакуумом
оксид кремния
Диапазон измерений
Относительное: -1060 — +340 мбар (-795 — +255 Торр)
Максимальное избыточное абсолютное давление, бар
4
Точность измерения
Относительное: 0.25% от колебаний
Повторяемость
40 — 1x10^-2 мбар: ±2% от показания
Максимальная температура прогрева на фланце (с отсоединенной электроникой), °C
125
Интерфейс
RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet
Коммутационные выходы
2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet
Вакуумное соединение
DN 16 ISO-KF
ЖК-дисплей
Нет
Габариты
99 x 69 x 48 мм (версия с DN 16 KF)
Масса, г
195
Мин. напряжение питания (постоянный ток), В
20
Макс. напряжение питания (постоянный ток), В
30

Товары из этой же серии

Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-KF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом ERSTVAK MTM9D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
Широкодиапазонный вакуумный датчик с холодным катодом с поверкой ERSTVAK MTM9D-KF25
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTM9D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
Широкодиапазонный вакуумный датчик с горячим катодом ERSTVAK MTH10D-CF40
  • Масса, кг: 0.555
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: MTH10D
  • Страна: Германия
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 25 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 CF-F
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG400 DN 40 CF-F
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 25 ISO-KF
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 25 ISO-KF
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 40 CF-F
Инверсно-магнетронный вакуумметр Пирани INFICON MPG401 DN 40 CF-F
  • Производитель: INFICON
  • Серия: MPG
  • Страна: Швейцария
В корзину
1

Не забудьте купить

Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 515 CR
Когтевой вакуумный насос ERSTVAK CLAW-AV 515 CR
  • Тип: Когтевые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 500
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 200
  • Мощность, кВт: 9
В корзину
1
Вакуумно-компрессионная печь спекания ERSTVAK VCS-5518
Вакуумно-компрессионная печь спекания ERSTVAK VCS-5518
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: VCS
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTVAK EV-ATMO-DR
Система плазменной очистки на атмосфере ERSTVAK EV-ATMO-DR
  • Масса, кг: 25
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: EV-ATMO
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Лабораторный ротационный испаритель DLAB RE200-Pro
Лабораторный ротационный испаритель DLAB RE200-Pro
  • Частота вращения, об/мин: 150
  • Производитель: DLAB
  • Серия: RE
  • Страна: Китай
  • Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1160 × 600 × 1860
  • Напряжение, В: 220 — 380
В корзину
1
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK LARA 150P
Бустерный вакуумный насос типа Рутс ERSTVAK LARA 150P
  • Тип: Бустерные типа Рутс
  • Уровень вакуума: Высокий
  • Тип смазки: Безмасляный
  • Скорость откачки, м³/ч: 540
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
  • Мощность, кВт: 2.2
В корзину
1
Низковольтный источник питания постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY C3000NG-10K-0100-0400
Низковольтный источник питания постоянного тока KEWELL TECHNOLOGY C3000NG-10K-0100-0400
  • Мощность, кВт: 10
  • Производитель: Kewell
  • Серия: C3000
  • Страна: Китай
  • Напряжение, В: 100
В корзину
1
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 550
Винтовой масляный вакуумный насос ERSTVAK EUREKA 550
  • Тип: Винтовые
  • Уровень вакуума: Низкий
  • Тип смазки: Маслосмазываемый
  • Скорость откачки, м³/ч: 550
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.3
  • Мощность, кВт: 7.5
В корзину
1
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK K-PUMP 450
Маслосмазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос ERSTVAK K-PUMP 450
  • Тип: Пластинчато-роторные
  • Уровень вакуума: Средний
  • Тип смазки: Маслосмазываемый
  • Скорость откачки, м³/ч: 448
  • Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
  • Мощность, кВт: 11
В корзину
1
Одноместный двусторонний воздушный душ для персонала ERSTVAK ER-FLS-01
Одноместный двусторонний воздушный душ для персонала ERSTVAK ER-FLS-01
  • Мощность, кВт: 1.1
  • Потребляемая мощность, кВт: 1.1
  • Производитель: ERSTVAK
  • Серия: ER-FLS
  • Страна: Российская Федерация
В корзину
1
Роторная воздуходувка РУТС KUBICEK 3D45B-150
Роторная воздуходувка РУТС KUBICEK 3D45B-150
  • Тип: Роторные (Рутса)
  • Производительность, м³/ч: 1248
  • Избыточное давление, мбар: 1000
  • Тип смазки: Безмасляная (сухая)
  • Мощность электродвигателя, кВт: 55
  • Уровень шума, дБ(А): 82
В корзину
1

Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?

Получите бесплатную консультацию нашего инженера уже сегодня!