Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53DL

product-card

Производитель Thyracont
Серия VSL
Страна Германия
Степень защиты IP40 (IP54)
Температура хранения -40 — +65
Время отклика, мс 40
Выходной сигнал 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)
Электрическое подключение RS485/0–10 В: SubD, 15-полюсный, штекер

В корзину

Описание

Характеристики

Комбинированный вакуумметр THYRACONT VSL53DL — модель линейки VSL. Серия объединяет пьезорезистивный сенсор и датчик Пирани, чтобы одним прибором отслеживать переход от атмосферного давления к вакууму.

Назначение шлюзового датчика

Шлюзовая камера изолирует основную вакуумную систему от атмосферы при загрузке изделий. После закрытия камеры воздух откачивается, и только при достижении допустимого давления открывается соединение с основной установкой. Датчик должен быстро отслеживать изменение давления и передавать достоверный сигнал системе управления.

Принцип измерения

пьезорезистивный сенсор контролирует абсолютное давление на верхнем участке диапазона;
датчик Пирани измеряет давление после перехода в вакуумную область;
электроника объединяет показания в единый измерительный сигнал.

Преимущества серии

специализация для шлюзовых систем;
быстрый контроль циклов загрузки и разгрузки;
два измерительных принципа в одном корпусе;
непрерывное отслеживание стадии откачки;
сокращение количества отдельных датчиков;
возможность автоматического управления клапанами и насосами;
повышение воспроизводимости длительности шлюзового цикла.

Области применения

Серия применяется в полупроводниковом, тонкопленочном и другом вакуумном оборудовании с переходными камерами. Датчики помогают определить готовность шлюза к соединению с рабочей камерой и предотвращают нарушение вакуумного режима основной установки.

Производитель: Thyracont

Серия: VSL

Страна: Германия

Степень защиты: IP40 (IP54)

Температура хранения: -40 — +65

Время отклика, мс: 40

Выходной сигнал: 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet

Принцип измерения: Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)

Электрическое подключение: RS485/0–10 В: SubD, 15-полюсный, штекер

Потребляемая мощность: доп 1.6 Вт для Profinet)

Материалы, контактирующие с вакуумом: оксид кремния

Диапазон измерений: Относительное: -1060 — +340 мбар (-795 — +255 Торр)

Максимальное избыточное абсолютное давление, бар: 4

Точность измерения: Относительное: 0.25% от колебаний

Повторяемость: 40 — 1x10^-2 мбар: ±2% от показания

Максимальная температура прогрева на фланце (с отсоединенной электроникой), °C: 125

Интерфейс: RS485: 9.6 — 115 Кбит/с, 8 бит данных, 1 стоп-бит, без контроля четности, EtherCAT, Profinet

Коммутационные выходы: 2 реле, беспотенциальные, 49 В AC / 2 А или 30 В DC / 2 А, максимум 60 ВА кроме EtherCAT, Profinet

Вакуумное соединение: DN 16 ISO-KF

ЖК-дисплей: Да

Габариты: 99 x 69 x 48 мм (версия с DN 16 KF)

Масса, г: 195

Мин. напряжение питания (постоянный ток), В: 20

Макс. напряжение питания (постоянный ток), В: 30

Производитель Thyracont
Серия VSL
Страна Германия
Степень защиты IP40 (IP54)
Температура хранения -40 — +65
Время отклика, мс 40
Выходной сигнал 0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм, диапазон измерения 1.5 — 8.58 В постоянного тока, логарифмическая хар-ка (по умолчанию) кроме EtherCAT, Profinet
Принцип измерения Пьезорезистивный / Пирани (в зависимости от типа газа)
Электрическое подключение RS485/0–10 В: SubD, 15-полюсный, штекер