- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Приборы измерения и контроля вакуума
- Вакуумметры
- Цифровые вакуумметры
- Датчики Пирани
- Вакуумметр Пирани INFICON PSG512-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG512-S
Вакуумметр Пирани INFICON PSG512-S — малогабаритный прибор для непрерывного измерения давления среднего вакуума. Модель PSG512-S помогает контролировать вакуумирование камеры, отслеживать достижение рабочего режима и передавать актуальные измерительные данные в систему управления установкой. Прибор может использоваться как основной датчик на этапе предварительной откачки.
Основа измерения
Действие INFICON PSG512-S основано на зависимости теплопроводности газа от давления. Нагретый элемент Пирани отдает тепло окружающим молекулам, и величина теплоотдачи изменяется вместе с их количеством. Электронная схема регистрирует эти изменения и рассчитывает давление в вакуумной системе. Благодаря непрерывному принципу измерения оператор и автоматика получают информацию о динамике процесса в реальном времени.
Конструктивное решение
В PSG512-S установлен чувствительный элемент из нержавеющей стали, сочетающий устойчивость к механическим воздействиям и стабильные рабочие характеристики. Исполнение прибора рассчитано на интеграцию в промышленное оборудование. Компактные размеры упрощают размещение датчика на вакуумной камере, трубопроводе или коллекторе, включая участки с ограниченным монтажным пространством.
Преимущества
- непрерывное измерение давления в области среднего вакуума;
- компактный корпус для встраиваемых решений;
- надежный сенсор, выполненный из нержавеющей стали;
- возможность выбора подходящих электрических и вакуумных соединений;
- контроль предварительных стадий откачки;
- готовность к работе в составе автоматизированной установки;
- совместимость со стационарными и сервисными измерительными системами.
Решаемые задачи
Модель INFICON PSG512-S используется для контроля работы насосов, оценки скорости снижения давления и определения момента, когда камера готова к продолжению технологического цикла. Отклонение показаний от ожидаемой динамики помогает своевременно выявлять нарушения. Измерительный сигнал может участвовать в автоматическом управлении клапанами, насосами и последовательностью операций.
Отрасли применения
PSG512-S востребован в оборудовании полупроводниковой промышленности, научных установках, вакуумных печах, металлургии и системах вакуумного напыления. Прибор применим в холодильной и автомобильной отрасли, на исследовательских и испытательных стендах, а также при диагностике, наладке и регулярном контроле вакуумных систем.
- Производитель
- INFICON
- Серия
- PSG
- Страна
- Швейцария
- Степень защиты
- IP40
- Минимальная температура окружающей среды, °С
- 5
- Катод
- Никель
- Время отклика, мс
- 80
- Принцип измерения
- По принципу теплопроводности Пирани
- Электрическое подключение
- Электронный соединитель FCC 68 / RJ45, 8 конт., вилка
- Материалы, контактирующие с вакуумом
- DIN 1.3981/1.4305/1.4435
- Допустимое давление (абс.), бар
- 10, ограничение для инертных газов
- Зависимость напряжение – давление, В на декаду
- Логарифмическое соотношение 1.286
- Выходное полное сопротивление, Ом
- 2х4.7
- Идентификация датчика, кОм
- 27.0, по отношению к общему выходу источника питания
- Кабель датчика
- Экранированный 8-жильный
- Максимальная длина кабеля (8 × 0.14 м²), м
- 100
- Точность (N2)
- 100 — 1000 мбар % от показаний ±50
- Максимальное время переключения, мс
- 20
- Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2), мбар
- 5х10^-4 — 1000
- Повторяемость (воздух)
- 1х10^-3 — 100 мбар % от показаний ±2
- Диапазон измерения выходного сигнала, В
- +1.9 — +10.0
- Сигнал ошибки выходного сигнала, В
- 0 — +0.5 (разрушение катода)
- Минимальное полное сопротивление нагрузки, кОм
- 10, защита от коротких замыканий
- Настройка
- 1 выключатель для настройки атмосферы и высокого вакуума
- Контрольные точки
- 2
- Диапазон настройки
- 2х10^-3 — 500
- Контакт реле, В/А
- 30/0.5 плавающий
- Потребляемый ток, мА
- <500 (максимальный ток при включении)
- Пульсация, В (p-p)
- ≤1
- Ориентации на монтаже
- Любая
- Гистерезис
- На 10% выше нижнего порога
- Максимальное напряжение выходного сигнала, В
- 10.3
- Мин. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 14
- Макс. напряжение питания датчика (пост. ток), В
- 30
- Максимальная потребляемая мощность, Вт
- 1
- Максимальная температура окружающей среды, °C
- 60