Высоковакуумная настольная установка термического испарения CYKY CY-EVZ180-I-H-Q

Компактная напылительная установка CYKY CY-EVZ180-I-H-Q обеспечивает процесс вакуумного напыления с максимальным током дуги до 100 А, что гарантирует стабильность и высокую скорость осаждения. Модель отличается широкими технологическими возможностями: она позволяет осаждать различные металлические плёнки, а также некоторые типы неметаллических покрытий, благодаря чему установка широко применяется для изготовления электродов и производства органических светодиодов (OLED). При этом оборудование имеет малые габариты, исключительно просто в управлении и демонстрирует высокую адаптивность к разным материалам, что делает его оптимальным выбором для оснащения исследовательских лабораторий, университетов и R&D-центров, занимающихся тонкоплёночными технологиями, оптоэлектроникой и материаловедением.
 

Общая мощность установки составляет 1500 Вт. Столик образцов выполнен диаметром 60 мм, при этом расстояние до источника испарения регулируется в диапазоне от 20 до 55 мм. В качестве источника напыления используется корзина из вольфрамовой проволоки либо вольфрамовая лодочка, что позволяет достигать максимальной рабочей температуры 1700 °C. Вакуумная система построена на базе двухступенчатого пластинчато-роторного вакуумного насоса; подключение вакуумной магистрали осуществляется через штуцер KF25. Штуцер впуска технологического газа представляет собой фитинговое соединение под цангу диаметром 6,35 мм.