Настольная установка комбинированного напыления Vac Coat DSCR-300

Настольная комбинированная установка DSCR-300 с увеличенной камерой предназначена для магнетронного напыления и напыления покрытия с помощью испарения углеродной нити. Система оснащена водоохлаждаемыми магнетронными катодами диаметром 3 или 4 дюйма, что позволяет наносить покрытия на крупные образцы диаметром до 12–15 см или на несколько мелких образцов в этой же зоне. Водяное охлаждение катодов обеспечивает длительное время напыления, делая установку пригодной для осаждения как тонких, так и толстых пленок.

Прибор объединяет в одном корпусе два сменных узла: магнетронный источник для DC-напыления благородных металлов (золото, палладий, платина и их сплавы) на непроводящие образцы и испаритель для осаждения углеродной нитью (три нити диаметром до 0,8 мм). Управление осуществляется через 7-дюймовый сенсорный экран с полностью автоматическим контролем, отображающим параметры вакуума, тока и осаждения в виде цифровых данных или графиков. Журнал сохраняет информацию о последних 300 процессах с возможностью выгрузки на ПК через USB-порт.

Преимущества

• Кварцевый контроллер толщины с точностью до 1 нм и разрешением 1 Å
• Один 2-х дюймовый магнетронный катод
• Автоматический клапан напуска воздуха
• Возможность вращения, изменения высоты и наклона образца
• Электрически управляемая заслонка
• Быстросменные столики для образцов (вращающийся столик в стандартной комплектации)
• Широкодиапазонный вакуумметр
• Отсутствие необходимости в системе охлаждения для кратковременного осаждения тонких пленок
• Двухлетняя гарантия
• Соответствие стандартам CE
• Полностью автоматическое или полуавтоматическое напыления покрытия с помощью испарения углеродной нити
• Интуитивно понятный сенсорный экран для управления процессом и быстрого ввода данных
• Удобное программное обеспечение с возможностью обновления по сети
• Контроль скорости нанесения для достижения более мелкозернистой структуры
• Повторяемый программируемый процесс напыления в автоматическом режиме
• Ручное или автоматическое осаждение по времени и по толщине
• Науглероживание в непрерывном (flash) и импульсном (pulse) режимах
• Запись и построение графиков параметров нанесения
• Хранение информации для повторного воспроизведения процессов

Дополнительные опции

• Испарительная головка для углеродного стержня
• Сильноточный источник питания для углеродного стержня
• Датчик кварцевого контроллера толщины
• Запасная стеклянная вакуумная камера
• Мишени для напыления
• Углеродная нить
• Уплотнительные прокладки